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文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇陀螺
  • 2篇振弦
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  • 2篇微机械陀螺
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  • 1篇加速度
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  • 1篇硅微机械
  • 1篇硅微机械陀螺
  • 1篇MEMS加速...

机构

  • 4篇南昌理工学院
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 4篇陈志龙
  • 1篇徐静
  • 1篇李四华
  • 1篇吴亚明
  • 1篇白书华
  • 1篇杨丹琼
  • 1篇钟少龙
  • 1篇杨扬
  • 1篇潘文旭

传媒

  • 3篇功能材料与器...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2011
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
振弦式硅微机械陀螺
2011年
提出了一种新的振弦式硅微机械陀螺的设计方案,这一陀螺的制作采用硅微机械工艺。一方面,陀螺驱动模块采用电磁力驱动,这样能极大地提高驱动幅度;另一方面,陀螺检测模块采用差分的双振弦方式,从而提高了检测精度。通过陀螺检测模块的振弦将角速度的变化直接转换成输出信号的频率变化,这样能够极大地提高信号的抗干扰能力。理论分析表明,这一陀螺具有测量范围宽、测量精度高、抗干扰能力强、低成本且不需要真空封装等优点,可以广泛应用于自动化和惯性导航等众多领域。
陈志龙白书华
关键词:微机械振弦陀螺
微小型振弦式数字陀螺被引量:2
2012年
本文在作者原有的研究基础上提出了微小型振弦式数字陀螺的设计方案,这一陀螺结构简单,并且可以采用传统的精密机械加工工艺来制作,因而成本低廉。本文给出了微小型振弦式数字陀螺的基本结构,并分析了其工作原理和主要特性指标。
陈志龙
关键词:微小型振弦式陀螺
电磁驱动微机械陀螺接口电路的研究
2011年
电磁驱动电容检测的力平衡微机械陀螺相对于压阻检测等方式的其他形式的微机械陀螺来说,具有高灵敏度及高精度的突出优点,但是其接口电路也比较复杂。这一接口电路从功能上可分为驱动电路和检测电路两个部分:驱动电路的主要功能是使微机械陀螺产生在驱动模态固有频率下的振幅稳定的正弦振动;检测电路的主要功能是拾取陀螺所产生的角速度信号。为了提高陀螺的工作带宽和线性度,检测电路采用了力平衡方式。本文从微机械陀螺接口电路的工作原理、传输函数和稳定性等方面分析了这种形式的微机械陀螺的接口电路。并介绍了接口电路中用到的几种主要器件。
陈志龙潘文旭杨扬
关键词:接口电路微机械陀螺电磁驱动电容检测
低热机械噪声MEMS加速度计设计被引量:4
2011年
介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,其理论热机械噪声为0.018μg/槡Hz。加速度计芯片在大气封装和无阻尼孔情况下Q值高达455.06,与理论分析结果相符,具有较低的热机械噪声。
杨丹琼陈志龙徐静钟少龙李四华吴亚明
关键词:加速度计体硅工艺
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