徐静
- 作品数：43 被引量：74H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
- 2012年
- 采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰峰值为50mv,响应时间为10μs的调制后波形。
- 刘英明徐静李四华吴亚明
- 关键词：体硅工艺光栅光阀光学调制器绝缘体上硅消光比
- 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
- 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到MEMS扭转...
- 吴亚明赵本刚徐静刘玉菲高翔李四华
- 文献传递
- 芯片级原子钟的气密性能分析被引量：3
- 2012年
- 基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命。建立了一个"毛细管等效气流模型"模拟多层缓冲原子腔的泄漏以分析原子腔的气密性能,应用Matlab仿真对比了单层密封、多层密封、添加保护腔等不同方式下气密性能的改善幅度。仿真结果验证了"多层缓冲原子腔"在提高CPT CSAC物理系统气密性能方面的可行性和有效性,为原子腔的设计提供指导。
- 张志强徐静李绍良吴亚明
- 关键词：气密性MATLAB仿真
- 微机械Golay腔型红外探测器的研究被引量：1
- 2007年
- 通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/2和响应时间为0.5m s。利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响。
- 高翔徐静赵本刚万助军吴亚明
- 关键词：微电子机械系统红外探测器气动
- MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法
- 本发明提供一种MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法，包括：提供具有双层硅器件层的SOI硅结构；在第一衬底层的表面制作第一划片图形；去除第二衬底层；在第二埋层氧化层上制作双层掩膜；利用双层掩膜，制作出高梳齿结构、低梳齿结...
- 李四华吴亚明徐静
- 文献传递
- 聚酰亚胺隔热悬挂结构设计与制作被引量：1
- 2014年
- 加热器在原子钟、气体传感器、生物传感器等器件中有着广泛的应用,降低加热功耗对于这些器件的实用化具有重要意义。设计并制作了一种集成了加热器和温度传感器的聚酰亚胺隔热悬挂结构,用于承载待加热的芯片,并利用集成制作在聚酰亚胺膜上的2组Pt线圈分别对芯片进行加热和温度检测。实验证明:聚酰亚胺隔热悬挂结构由热传导引起的功耗仅为没悬挂结构时的0.95%,大大降低了由热传导引起的功耗,即便在没有真空封装的情况下,在芯片工作在100℃时,功耗也可降低到36.7%;同时该结构也具有良好的机械性能,承载体积为14 mm×7 mm×1 mm的硅基芯片时,安全系数可达到56.58,具有很好的应用前景。
- 李绍良徐静吴亚明
- 关键词：聚酰亚胺MEMS技术低功耗
- 大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用
- 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器及其在光开关中的应用。其特征在于所述的大角度扭转微镜面驱动器由扭转梁(1)、扭转梁(2)、微镜面(3)、倾斜下电极(4)，倾斜面(5)、倾斜面(6)、硅基底材料(7)构成；其中，扭转梁(...
- 吴亚明李四华徐静
- 文献传递
- 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及可变光衰减器的研究和制作
- 可调谐光滤波器(TOF：Tunable Optical Filter)和可变光衰减器(VOA∶VariableOptical Attenuator)在构建智能全光网络中发挥着极其重要的作用，具有未来广阔的应用市场。在现有...
- 徐静
- 文献传递
- MEMS三轴加速度计及其制造方法
- 本发明提供了一种MEMS三轴加速度计及其制造方法。MEMS三轴加速度计包括敏感器件层、上盖板层和下支撑体层；敏感器件层与上盖板层、下支撑体层之间有间隙；敏感器件层包括支撑框体、弹性梁、三个独立的敏感质量块、可动梳齿、固定...
- 吴亚明杨丹琼徐静钟少龙
- 文献传递
- 微机械电磁阻尼结构分析
- 2007年
- 提出采用电磁阻尼结构来提高微机械角度调节装置的响应速度。通过建立结构模型和分析结构参数对阻尼效果的影响,给出具体设计实例以及制作工艺,证实该阻尼结构的有效性和可行性。
- 赵军徐静吴亚明
- 关键词：微机械电磁阻尼
