张倩
- 作品数：3 被引量：15H指数：2
- 供职机构：华侨大学机电及自动化学院更多>>
- 发文基金：福建省科技计划重点项目福建省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 小波滤波及奇异性分析在表面形貌评定中的应用被引量：9
- 2009年
- 为了定位和减弱由于震动等因素引入检测数据中的奇异性信号,从而更加准确地分离表面粗糙度轮廓以评定表面形貌,提出了一种基于小波的奇异性检测和滤波的方法。首先应用小波变换检测奇异性信号对样品表面轮廓测量数据进行预处理以减弱奇异信号对表面参数评定的影响,然后采用小波滤波分解表面轮廓以获得粗糙度尺度轮廓,在此基础上对其三维典型参数进行计算。验算实例采用两类:在实测数据的基础上外加已知的奇异特征和典型带有奇异信号的实测数据。实验结果表明:第一类数据经过小波奇异性处理后与原始未加奇异特征的粗糙度轮廓参数非常接近,Sa,Sz,Sq,Ssk和Sku的相对变化分别为0.27%、0.78%、0.51%、0.04%和1.04%,第一类数据经过小波奇异性处理轮廓测量数据后与原始外加奇异特征的实测数据未经奇异性处理的小波滤波表面粗糙度参数Sa,Sz,Sq,Ssk和Sku的相对变化分别为1.14%、20.63%、1.95%、3.81%、8.86%;第二类实测数据小波奇异性处理前后的小波滤波表面粗糙度参数Sa,Sz,Sq,Ssk和Sku的相对变化分别为6.2%、27.47%、9.54%、131.62%、53.77%。实验结果表明,采用精度较高的小波滤波提取表面粗糙度轮廓之前通过奇异性算法抑制奇异特征,可得到更加合理的表面参数评定结果。
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- 关键词：小波分析奇异性检测小波滤波表面粗糙度
- 垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析被引量：2
- 2010年
- 研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm。结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响。
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- 关键词：质心算法粗糙度
- 垂直扫描白光干涉测量数据的各种处理算法及其分析被引量：4
- 2010年
- 为得到被测表面的微观信息,根据垂直扫描白光干涉的特点,以阶高92μm的微流道为测量对象,测出理论上处在不同高度的3个点的干涉数据,使用改进质心算法、相移干涉法、白光干涉法、白光干涉相移法、包络线拟合法等算法从采集到三组干涉数据中提取出每两点之间的相对高度,并对各种算法提取出的相对高度进行比较和分析。结果证明,相对高度为0的情况下,除包络线拟合法误差较大外,其余各种算法的计算结果都比较理想;相对高度为阶高92μm时,白光干涉相移法计算精度最高,实用性较强。
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- 关键词：质心相移白光干涉
