周晓林
- 作品数:5 被引量:12H指数:2
- 供职机构:华侨大学更多>>
- 发文基金:福建省自然科学基金国家自然科学基金福建省科技计划重点项目更多>>
- 相关领域:机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 垂直扫描白光干涉测量数据的各种处理算法及其分析被引量:4
- 2010年
- 为得到被测表面的微观信息,根据垂直扫描白光干涉的特点,以阶高92μm的微流道为测量对象,测出理论上处在不同高度的3个点的干涉数据,使用改进质心算法、相移干涉法、白光干涉法、白光干涉相移法、包络线拟合法等算法从采集到三组干涉数据中提取出每两点之间的相对高度,并对各种算法提取出的相对高度进行比较和分析。结果证明,相对高度为0的情况下,除包络线拟合法误差较大外,其余各种算法的计算结果都比较理想;相对高度为阶高92μm时,白光干涉相移法计算精度最高,实用性较强。
- 张倩崔长彩周晓林
- 关键词:质心相移白光干涉
- 精密微位移工作台及其在垂直扫描白光干涉仪中的应用研究
- 随着时代的发展,在精密机械制造、精密测量仪器和精密位移驱动中对精度要求变得越来越高。由于精密定位技术决定这些精密制造工业的精度,因此,只有在精密定位技术得到了发展,各精密领域才能发展,特别在高新科技术研究领域,精密定位技...
- 周晓林
- 关键词:微位移工作台压电陶瓷柔性铰链
- 文献传递
- 垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析被引量:2
- 2010年
- 研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息。根据垂直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力。实验测量对象是Ra为0.074μm的多刻线标准样板,采用高斯滤波算法分离粗糙度信号,对其二、三维参数进行了评定和分析,得Ra为0.0748μm。结果证明,改进质心算法原理正确,计算精度满足测量要求,可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响。
- 张倩崔长彩周晓林范伟傅师伟
- 关键词:质心算法粗糙度
- 柔性铰链的3种模型计算和分析被引量:7
- 2011年
- 在微位移工作台中,柔性铰链作为主要传递压电陶瓷给进位移的关键部件,对柔性铰链的性能分析显得至关重要。文中主要研究了直圆弧形柔性铰链的半径、最小铰链厚度等结构尺寸参数对柔性铰链转动刚度的影响,分析了3种不同模型计算结果之间的差别。同时运用ANSYS11.0分析了单柔性铰链的刚度并且和3种模型计算结果相比较,得出了它们之间的差别。通过以上的分析可以得出,在直圆弧形柔性铰链的半径和最小铰链厚度之比在t/R∈(0,0.8)时,采用Paros和Weisbord简化模型(PW简化模型)可以简便计算柔性铰链的刚度。该方法对实际设计柔性铰链具有重要的意义。
- 周晓林崔长彩范伟傅师伟叶瑞芳
- 关键词:柔性铰链转动刚度ANSYS
- 一种新型位移工作台
- 本实用新型提出一种新型位移工作台,包括传动连接在一起的工作台和传动机构;上述传动机构包括传动连接在一起的宏传动机构和微传动机构。采用上述技术方案后,本实用新型的新型位移工作台,工作台与宏传动机构和微传动机构传动连接,宏传...
- 叶瑞芳崔长彩范伟周晓林吴志顺胡捷
- 文献传递