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邓维伟
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
东莞理工大学
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
权祥
电子科技大学光电信息学院
刘曾怡
电子科技大学光电信息学院
王小菊
电子科技大学光电信息学院
林祖伦
电子科技大学光电信息学院
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作者
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林祖伦
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王小菊
1篇
刘曾怡
1篇
权祥
1篇
邓维伟
传媒
1篇
电子器件
年份
1篇
2011
共
1
条 记 录,以下是 1-1
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适用于PDP的透明六硼化镧薄膜性能研究
被引量:3
2011年
采用电子束蒸发方法在商用PDP玻璃衬底和Ta衬底上沉积六硼化镧薄膜。分别对PDP玻璃衬底上沉积的六硼化镧薄膜的可见光范围内的透过率、薄膜生长取向和附着力进行了研究;对钽衬底上沉积的六硼化镧薄膜阴极的逸出功进行了研究。结果表明,制备的六硼化镧薄膜厚度为43nm时,在可见光范围内透过率大于90%,优于传统MgO保护层;六硼化镧薄膜具有(100)晶面择优生长的特点,薄膜的晶格常数与靶材相差小于0.2‰,薄膜的晶粒细小,成膜致密均匀;制备的透明六硼化镧薄膜的逸出功为2.56eV。
刘曾怡
林祖伦
王小菊
邓维伟
权祥
关键词:
电子束蒸发
透过率
逸出功
PDP
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