李艳龙
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器
- 提出了一种CMOS工艺兼容的、采用精心设计的特殊正面腐蚀窗口释放的微机械热电堆红外探测器。探测器尺寸为490μm×490μm,红外吸收区面积为240μm×240μm,由48对P/N多晶硅热电偶组成,释放后的器件特性响应率...
- 李艳龙李铁
- 关键词：热电堆红外探测器微机械传感器
- 文献传递
- pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响
- 2010年
- 为了研究pn结对微机械p/n多晶Si热电堆性能的影响,设计了两种结构的热电堆器件,采取不同的退火条件,对其结构进行了研究。实验结果表明,工艺过程中形成的pn结会使得热电堆的电阻变大,信号变小,退火条件决定了热电堆器件能否正常工作。因此,在设计热电堆时应该尽量避免pn结,可以采用p-Si/n-Si分离结构予以解决。
- 李艳龙王翊周宏刘延祥李铁王跃林
- 关键词：PN结热电堆
