2025年2月13日
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杨佳音
作品数:
8
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供职机构:
西安电子科技大学
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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合作作者
王斌
西安电子科技大学
宣荣喜
西安电子科技大学
宋建军
西安电子科技大学
胡辉勇
西安电子科技大学
舒斌
西安电子科技大学
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电子电信
1篇
一般工业技术
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芯片集
2篇
芯片集成
2篇
芯片集成度
2篇
集成度
机构
8篇
西安电子科技...
作者
8篇
杨佳音
7篇
舒斌
7篇
胡辉勇
7篇
宋建军
7篇
宣荣喜
7篇
王斌
5篇
张鹤鸣
5篇
苏汉
1篇
王禹
年份
1篇
2021
3篇
2020
1篇
2018
3篇
2017
共
8
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基于台状有源区的固态等离子体PiN二极管及其制备方法
本发明涉及一种基于台状有源区的固态等离子体PiN二极管及其制备方法。该制备方法包括:(a)选取SOI衬底;(b)刻蚀SOI衬底形成台状有源区;(c)对所述台状有源区四周利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形...
王斌
杨佳音
张鹤鸣
郝敏如
胡辉勇
宋建军
舒斌
宣荣喜
苏汉
文献传递
锗基光电材料及器件关键技术研究
随着集成电路技术的不断发展,集成电路运行速度、功耗水平等性能参数的优化受材料本身物理极限以及工艺水平的制约严重。光电集成技术以光子作为信息载体,因其具有信息容量大、易于集成等优点,成为延续和替代集成电路发展的备选方案之一...
杨佳音
关键词:
化学气相淀积
载流子输运
文献传递
一种LED芯片的制造方法及LED芯片
本发明涉及一种LED芯片的制造方法及LED芯片,其中,LED芯片的制造方法包括:步骤1、选取衬底(11);步骤2、在衬底(11)上生长蓝光外延层;步骤3、制备红光灯芯槽;步骤4、在红光灯芯槽内生长红光外延层;步骤5、制备...
胡辉勇
杨佳音
苗渊浩
舒斌
王斌
宋建军
宣荣喜
SiGe‑Si‑SiGe异质Ge基固态等离子体PiN二极管的制备方法及其器件
本发明涉及一种SiGe‑Si‑SiGe异质Ge基固态等离子体PiN二极管的制备方法及其器件,该制备方法包括:(a)选取GeOI衬底;(b)在所述GeOI衬底内设置隔离区;(c)利用光刻工艺在所述GeOI衬底内形成P型沟槽...
王斌
苏汉
康海燕
胡辉勇
杨佳音
张鹤鸣
宋建军
舒斌
宣荣喜
郝敏如
文献传递
一种LED芯片的制造方法及LED芯片
本发明涉及一种LED芯片的制造方法及LED芯片,其中,LED芯片的制造方法包括:步骤1、选取衬底(11);步骤2、在衬底(11)上生长蓝光外延层;步骤3、制备红光灯芯槽;步骤4、在红光灯芯槽内生长红光外延层;步骤5、制备...
胡辉勇
杨佳音
苗渊浩
舒斌
王斌
宋建军
宣荣喜
文献传递
基于台状有源区的固态等离子体PiN二极管及其制备方法
本发明涉及一种基于台状有源区的固态等离子体PiN二极管及其制备方法。该制备方法包括:(a)选取SOI衬底;(b)刻蚀SOI衬底形成台状有源区;(c)对所述台状有源区四周利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形...
王斌
杨佳音
张鹤鸣
郝敏如
胡辉勇
宋建军
舒斌
宣荣喜
苏汉
文献传递
GaAs‑Ge‑GaAs异质结构的SPiN二极管及其制备方法
本发明涉及一种GaAs‑Ge‑GaAs异质结构的SPiN二极管及其制备方法。该制备方法包括:(a)选取GeOI衬底;(b)刻蚀所述GeOI衬底的顶层Ge层以在所述顶层Ge层内形成第一沟槽和第二沟槽;(c)在所述第一沟槽和...
王斌
苏汉
王禹
胡辉勇
杨佳音
张鹤鸣
宋建军
舒斌
宣荣喜
苗渊浩
郝敏如
文献传递
SiGe-Si-SiGe异质Ge基固态等离子体PiN二极管的制备方法及其器件
本发明涉及一种SiGe‑Si‑SiGe异质Ge基固态等离子体PiN二极管的制备方法及其器件,该制备方法包括:(a)选取GeOI衬底;(b)在所述GeOI衬底内设置隔离区;(c)利用光刻工艺在所述GeOI衬底内形成P型沟槽...
王斌
苏汉
康海燕
胡辉勇
杨佳音
张鹤鸣
宋建军
舒斌
宣荣喜
郝敏如
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