李健雄
- 作品数:5 被引量:7H指数:1
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- IDT/AlN/LiNbO_3结构声表面波滤波器模拟和分析被引量:1
- 2008年
- 研究了IDT/AlN/LiNbO3结构声表面波滤波器的频散特性,发现了高机电耦合系数(>18%),高声速(>10 km/s)的纵向假声表面波模式。对研究得到的二次模进行了归一化插入损耗频率响应的模拟,其结果与文献报道的实验结果基本一致。
- 李健雄杨成韬王锐陈运祥张树人
- 关键词:声表面波ALN薄膜
- 薄膜声表面波器件的制备研究进展被引量:4
- 2008年
- 介绍了薄膜声表面波器件的发展历史和特点,以及压电薄膜声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的一些概况,并展望了其今后的发展趋势。
- 王锐杨成韬张树人李健雄
- 关键词:电子技术声表面波器件压电薄膜叉指换能器
- 多层结构声表面波滤波器的研究进展被引量:1
- 2007年
- 无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展。简述了SAWF的基本结构和原理,回顾了近年来多层结构SAWF的研究进展,包括理论研究和实验研究,展望了其今后的发展趋势。
- 李健雄杨成韬王锐张树人
- 关键词:多层结构声表面波滤波器压电薄膜金刚石
- 复合双压电层FBAR的建模与仿真
- 2009年
- 在复合单压电层薄膜体声波谐振器(FBAR)的基础上,提出了一种新型的复合双压电层FBAR,它可以大大提高压电材料选择的灵活性。通过建模得到该结构的输入阻抗解析表达式,据此进行了仿真分析。仿真结果表明,基模谐振频率随双压电层结构中的较高声速压电膜的厚度所占比率的增加而加速增大,而相对带宽随较高机电耦合系数的压电膜的厚度与较低机电耦合系数的压电膜的厚度比的增加逐渐增加,并且复合双压电层FBAR出现了单压电层时所没有的模式。
- 杨成韬李健雄许绍俊王锐张树人
- 关键词:解析解薄膜体声波谐振器输入阻抗谐振频率
- 基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算被引量:1
- 2007年
- 结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型。根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线。该频散曲线具有较高的精确性,能很好地反映出瑞利波的频散特性。本文从解基本的波动方程理论出发,得到了三层结构的有效介电常数数学模型,并且将其程序化,最终得到了声表面波器件设计中的两个重要参数,为多层薄膜器件的设计奠定了一定的基础。
- 董加和杨成韬郑泽渔李健雄张树人
- 关键词:频散特性有效介电常数瑞利波