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高婷婷
作品数:
1
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供职机构:
四川大学物理科学与技术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
苏凯
四川大学物理科学与技术学院
王玲
四川大学物理科学与技术学院
马瑶
四川大学物理科学与技术学院
袁菁
四川大学物理科学与技术学院
龚敏
四川大学物理科学与技术学院
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四川大学
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王玲
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苏凯
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高婷婷
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年份
1篇
2013
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65nm n沟MOSFET的重离子辐照径迹效应研究
2013年
重离子在SiO2中能产生永久径迹,因此它可能对MOS器件电学特性产生影响。文章用Geant4软件对Au和Sn两种离子进行蒙特卡洛模拟,重点分析高能粒子在SiO2中的能量沉积及径迹。基于模拟分析,对专门设计的65 nm n沟MOSFET器件进行Sn离子辐照实验,发现辐照后Ids和Ig明显增大,分析器件辐照前后阈值电压、跨导、沟道电流以及栅漏电流等特性参数变化的原因。
高婷婷
王玲
苏凯
马瑶
袁菁
龚敏
关键词:
重离子辐照
径迹
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