王革
- 作品数:9 被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:电子电信理学电气工程经济管理更多>>
- 一种基片加热装置
- 一种基片加热装置,包括油箱体(12)及油箱密封盖。所述油箱体(12)为中空的圆桶形,且开口处设有外延边(11);内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔(7)...
- 刁宏伟王文静赵雷陈静伟闫宝军王革
- 文献传递
- 硅锗等离子体起辉的瞬态不稳定性研究被引量:1
- 2016年
- 利用光发射谱(OES)监测技术对氢气(H_2)、硅烷(SiH_4)、锗烷(GeH_4)等离子体的起辉稳定时间进行瞬态在线原位监测,探索功率及压强对等离子体起辉稳定时间的影响规律。结果表明,功率对等离子体的起辉稳定性影响较大,即相比于较小功率,在较大功率下起辉时,等离子体需要长很多的时间才能达到稳定状态。但随着功率的增大,气压对起辉稳定性的影响逐渐变得明显。分析认为这种等离子体的起辉不稳定性主要是由硅烷(SiH_4)、锗烷(GeH_4)等气体的反扩散所造成,并进一步发现通过增加氢气流量,可有效降低SiH_4等气体的反扩散程度,缩短硅锗等离子体达稳定状态所需的时间。
- 胡瑞丹王光红赵雷王革刁宏伟王文静
- 关键词:反扩散
- 利用碘酒钝化测量晶体硅体少子寿命
- 微波光电导衰减法(μPCD)测量晶体硅的有效少子寿命τeff,采用不同浓度(0.04mol/L~0.4mol/L)的碘酒溶液分别对n 型CZ 硅片和p 型CZ 硅片进行钝化,结果表明:碘酒溶液浓度在0.08mol/L~0...
- 陈静伟赵雷刁宏伟闫保军周素汤叶华王革王文静
- 基于wxAMPS的单结非晶硅锗太阳电池模拟分析
- 采用wxAMPS数值模拟软件,深入分析了p/i及i/n界面非晶硅缓冲层对单结非晶硅锗太阳电池性能的影响,并结合实验获得了最佳的p/i及i/n界面缓冲层厚度分别为4nm和8nm,带隙为1.7eV.利用上述优化结果最终制备出...
- 胡瑞丹赵雷王光红王革刁宏伟王文静
- 关键词:性能参数数值模拟软件
- 文献传递
- P 型掺杂氢化非晶硅特性的研究
- 硅烷(SiH4)、三甲基硼烷TMB(B(CH3)3)和氢气(H2),通过射频等离子体增强化学气相沉积方法(RF-PECVD)在石英衬底上制备了掺硼氢化非晶硅薄膜.研究了沉积温度,硼烷掺杂浓度,R=[TMB]/([SiH4...
- 闫保军赵雷刁宏伟王光红陈静伟王革王文静
- 关键词:氢化非晶硅PRF-PECVD电导率拉曼谱
- 用RETScreen软件对中国并网光伏电站进行经济、技术分析:一个案例研究
- RETScreen光伏项目模型能在世界范围内方便地评估并网和离网光伏应用的能源产量、寿命期成本和温室气体减排以及财务概要和敏感性与风险分析.本文介绍了RETScreen软件进行光伏项目模型分析的步骤及使用经验,然后采用该...
- 陈东坡赵雷李海玲周春兰刁宏伟王文静王革陈静伟
- 关键词:并网光伏电站计算机软件
- 文献传递
- 衬底温度对射频磁控溅射沉积IMO薄膜性能的影响
- 采用射频磁控溅射法在超白玻璃衬底上制备掺钼的氧化铟(In203:Mo,IMO)薄膜.衬底温度升高,结晶程度变大.160℃制备的IMO薄膜的载流子浓度达最高值4.12×1020cm3,电阻率达最低值4.5×10-4Ωcm....
- 王革赵雷术刁宏伟陈静伟闫保军陈东坡王文静
- 关键词:温度效应物理性能
- 文献传递
- PIN 型硅基薄膜电池ZnO:A12O3/Ag/NiCr/Al 复合背反射的研究
- 高反射率的背电极对于非晶硅基薄膜太阳电池的高性能和稳定性至关重要.本文提出ZnO:Al2O3(AZO)/Ag/NiCr (AZO)/Al 复合结构做硅基薄膜太阳电池的背电极.Ag 是一种昂贵金属且易氧化或硫化,沉积Ag ...
- 王光红赵雷闫保军陈静伟王革刁宏伟王文静
- 关键词:NICR
- 一种基片加热装置
- 一种基片加热装置,包括油箱体(12)及油箱密封盖。所述油箱体(12)为中空的圆桶形,且开口处设有外延边(11);内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔(7)...
- 刁宏伟王文静赵雷陈静伟闫宝军王革
- 文献传递