搜索到 篇“ RF-PECVD “的相关文章

相关作者

耿新华
作品数：396被引量：732H指数：14
供职机构：南开大学
研究主题：太阳电池 薄膜太阳电池 微晶硅 VHF-PECVD 硅薄膜
赵颖
作品数：816被引量：1,073H指数：14
供职机构：南开大学
研究主题：太阳电池 薄膜太阳电池 钙钛矿 微晶硅 VHF-PECVD
陈强
作品数：371被引量：485H指数：10
供职机构：北京工业大学
研究主题：原子层沉积 等离子体 大气压 类金刚石薄膜 性能研究
周美丽
作品数：45被引量：46H指数：4
供职机构：山东工艺美术学院
研究主题：PECVD SIOX薄膜 包装材料 SIOX RF-PECVD
朱锋
作品数：51被引量：213H指数：11
供职机构：南开大学信息技术科学学院光电子薄膜器件与技术研究所
研究主题：VHF-PECVD 微晶硅薄膜 微晶硅 太阳电池 太阳能电池