王平
- 作品数：87 被引量：346H指数：13
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程航空宇航科学技术电子电信理学更多>>
- 超小型机载稳定平台轴系精度分析被引量：3
- 2013年
- 超小型机载稳定平台的轴系精度在很大程度上决定着设备的定位精度。为了提高设备的定位精度,需要对平台的轴系精度进行严格地控制。这要求设计轴系时,在现有加工水平和轴承精度的基础上,充分保证轴系具有高的回转精度。以俯仰轴系径向回转精度为例,分析了轴系径向回转精度的结构因素,并按照标准不确定度B类评定方法,对其结构参数的标准不确定度进行了计算,可得俯仰轴系径向回转轴线的扩展不确定度为0.014mm,满足编码器安装对轴系的精度要求。通过20台套超小型机载稳定平台轴系径向跳动检测数据,对轴系精度不确定度评定的结果进行了验证。数据与评定的结果一致,满足编码器安装精度±0.015mm的指标。结果表明对轴系精度的分析和对其结构的设计合理。
- 刘仲宇张涛李嘉全王帅王平
- 关键词：超小型不确定度
- 基于机械敏感度的光机结构优化被引量：1
- 2015年
- 传统的光机结构设计流程中光学设计和机械结构设计相对独立。光学系统的机械结构设计者很难确定哪种支撑结构比较适合,难以实现机械结构的优化设计。利用机械敏感度直接建立机械结构加工装配误差与光学系统成像质量之间的关系,可以直观地描述机械结构误差对镜片的偏心、倾斜和间隔误差的影响,从而反映了对光学系统的成像质量的影响。结构设计者依据不同机械支撑结构的机械敏感度表来选择适用于该光学系统的最佳支撑结构,从而实现对物镜光机结构的优化。
- 门树东刘春来赵阳王平
- 关键词：光学设计优化设计
- 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究被引量：7
- 2012年
- 光刻是大规模集成电路制造过程中最为关键的工艺,光刻的分辨力主要取决于光刻投影物镜的光学性能。光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米量级,其对光学元件的加工及物镜单镜支撑提出了极高的要求。为193nm光刻投影物镜高精度的单镜面形,设计了一种运动学单镜支撑结构。运用有限元法(FEM)分析光刻投影物镜单镜运动学支撑结构在重力下物镜镜片的面形变化量,经分析物镜镜片的峰值(PV)值为15.46nm,均方根(RMS)误差为3.62nm。为了验证有限元计算精度,建立了可去除参考面面形及被测面原始面形的方法。经过分析对比,仿真结果与实验结果面形的PV值为2.356nm,RMS误差为0.357nm。研究结果表明,所设计的基于运动学193nm光刻投影物镜单镜支撑结构能够满足193nm光刻投影物镜系统对于物镜机械支撑结构的要求。
- 田伟王平王汝冬王立朋隋永新
- 关键词：应用光学光学检测有限元法
- 振动对面形测量误差的影响分析被引量：13
- 2012年
- 振动会使高精度面形测量产生误差。建立了振动对干涉测量面形的误差模型,应用13步移相算法分析了在振幅为63nm时的误差情况。分析结果表明,当面形测量误差的敏感频率为12Hz时,振动引起的面形均方根(RMS)误差约为12nm。通过实验进行了验证,仿真分析结果和实验结果基本相同。实验分析了在12Hz时,振幅为5～63nm时,对应的测量面形RMS误差为1～7.1nm,振幅和RMS误差线性增大。为不同振动频率和振幅引起的面形RMS的误差分析和高精度面形测量的振动环境控制提供了一定的参考。
- 王汝冬田伟王平王立朋
- 关键词：误差分析振动面形误差
- 管轴锁紧装置
- 本发明涉及一种管轴锁紧装置，包括驱动机构，所述驱动机构包括电机和由所述电机驱动的凸轮；管轴，所述管轴上设置有限位孔，锁紧机构，所述锁紧机构包括滑块、柔性杆、套筒和压杆，所述凸轮的外表面与所述滑块的内表面配接，所述柔性杆的...
- 张美君张保洪永丰王平李永刚
- 文献传递
- 一种机载两框架光电稳定平台隔振结构
- 本发明为一种机载两框架光电稳定平台隔振结构，涉及机载光电减振技术领域。包括包含于机载两框架光电稳定平台内的方位框架以及转动连接在方位框架内侧的俯仰框架，方位框架转动轴心与俯仰框架转动轴心之间相互垂直，方位框架用以机载连接...
- 刘仲宇王平张保
- 文献传递
- 高精度光学元件面形检测工装夹具
- 高精度光学元件面形检测工装夹具，特别涉及于深紫外投影光刻物镜系统光学元件纳米级面形检测的工装夹具。本发明目的在于解决深紫外投影光刻物镜系统光学元件纳米级面形检测与光学加工中面形精修工艺迭代过程中的高精度重复装卡问题，本发...
- 田伟王汝冬王平王立朋隋永新
- 文献传递
- 航空遥感惯性稳定平台内框架拓扑优化设计被引量：6
- 2015年
- 为了提高航空遥感惯性稳定平台动态性能,减小振动环境对光电载荷成像质量的影响,基于变密度法的拓扑优化理论,采用NX/TOSCA软件,以结构加权柔度最小化为目标函数,以节点的变形量和体积比约束为设计响应限制,对航空遥感惯性稳定平台内框架进行了拓扑优化设计。依据优化结果,对内框架具体结构形式进行了详细设计。采用NX/Nastran软件对优化后的内框架结构进行了仿真分析。静态分析结果显示,内框架最大变形量为3.5μm,满足指向精度误差分配的要求;模态分析结果显示,内框架结构一阶频率由260 Hz提高到334 Hz,其刚度满足伺服带宽的要求。拓扑优化设计使得内框架的质量由3.6 kg减小到1.8 kg,有利于平台轻量化的实现。最后,通过对指向精度和稳定精度的检测数据以及外场的飞行试验,验证了仿真分析的正确性,表明对内框架拓扑优化设计是成功的。
- 刘仲宇张涛刘家燕李永刚王平
- 关键词：航空遥感拓扑优化变密度法
- 基于APD的高灵敏度大气激光通信接收机系统设计被引量：6
- 2015年
- 为了满足大气激光通信系统对接收端高灵敏度的要求,通过分析APD和接收机的温度电压特性,以及电压和温度的波动对接收机灵敏度的影响,设计了一种大气激光通信接收机,包括低纹波APD偏压控制电路、APD温度控制电路和主放大器电路等。实验结果表明,偏置电压为46.35V、温度为290K、误码率为10^(-9)时,接收机灵敏度达到-39.1d Bm,满足通信系统要求。
- 王平王平耿天文伞晓刚高世杰
- 关键词：激光通信接收机灵敏度APD
- 红外导引头稳定平台主框架拓朴优化设计被引量：15
- 2016年
- 为了提高红外导引头稳定平台动态性能,减小振动环境对其稳定精度和光电载荷成像质量的影响,采用基于变密度法的拓扑优化理论,利用NX/TOSCA软件,以刚度最大化为目标函数,以体积比约束为设计响应约束,对红外导引头稳定平台主框架进行了拓扑优化设计。对比分析了经优化设计和经验设计的主框架结构形式的刚度及模态振型。结果显示,经拓扑优化的主框架在动态性能有所提高的情况下,结构质量大幅地减小,最大变形量由3.2μm减小到2.8μm,一阶固有频率由1 567 Hz提高到1 953 Hz,质量减小32.4%,有利于导引头轻量化水平的提升和整机性能的提高。最后,通过振动试验和稳定精度的检测数据验证了主框架的动态性能,说明了拓扑优化结果的正确性,这种拓扑优化方法可为其他重要件结构设计提供帮助。
- 刘仲宇张涛王平王统军
- 关键词：机械设计拓扑优化变密度法红外导引头
