刘春来
- 作品数：22 被引量：16H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
- 工件偏心检测系统的设计与实现被引量：3
- 2014年
- 工件偏心检测在光学系统装调中有重要作用,设计并实现了工件的偏心检测系统。首先,依据实验室的条件设计了工件偏心检测系统的整体方案;其次,对测量系统进行数学建模,对建立的检测模型进行数学分析,说明检测的可能性,同时通过实际的数据采集证明了数学分析的准确性,依据测量原理的数学分析,提出使用最小二乘法从检测信号中拟合待测信号,并通过仿真实验证明这种方法的可行性;再次,在MFC架构下使用Signallib及MATLAB静态库生成工具编写偏心检测软件,使用编写的软件采集数据,并对数据进行分析,证明了提出检测方法的可行性及软件系统的可靠性;最后,重新分析整个测量原理的假设,提出了降低假设要求而提高测量效果的方法。实验证明偏心检测系统具备良好的检测效果,同时设计的软件系统具备良好的数据可视化能力,工件偏心检测系统的分析和设计思路可以广泛地应用于系统检测中。
- 徐立松尹志生刘春来李朋志李佩玥
- 关键词：最小二乘法MFC
- 一种二自由度重力平衡吊装机构
- 本发明公开了一种二自由度重力平衡吊装机构，包括：下基板（1）、上基板（2）、倾斜配重机构（3）、重力平衡机构（4）以及倾斜调整机构（6），其中，倾斜配重机构（3）和重力平衡机构（4）均分别与下基板（1）和上基板（2）固定...
- 门树东王平赵阳刘春来杨怀江隋永新
- 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进被引量：3
- 2015年
- 为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm和3.76 nm改善为1.08 nm和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm密集线条对比度从0.082提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。
- 尚红波刘春来张巍陈华男
- 关键词：光学制造投影光刻物镜膜系对比度
- 利用轴向色差进行快速辅助定心的光学装置
- 利用轴向色差进行快速辅助定心的光学装置，属于光学系统集成装配技术领域，为了解决现有技术中间隔测量仪光轴与集成平台转轴的校准方法采用反复测试迭代收敛的方法效率很低的技术问题，该光学装置包括定心仪探测头组件、间隔测量仪测量头...
- 赵阳刘春来王平李显凌隋永新杨怀江
- 文献传递
- 利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量被引量：3
- 2014年
- 光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵,并对其进行奇异值分解,对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析,确定各失调量之间的相关性,提出了系统补偿量的选择方法,该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算,验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后,对系统进行了仿真预装调,以确保补偿方案的可行性。实验结果表明,补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70nm降低到29.6nm,优于技术指标要求,证明了提出的补偿量选择方法的正确性和有效性。
- 赵阳王平赵磊刘春来华洋洋门树东
- 关键词：几何光学奇异值分解
- 基于机械敏感度的光机结构优化被引量：1
- 2015年
- 传统的光机结构设计流程中光学设计和机械结构设计相对独立。光学系统的机械结构设计者很难确定哪种支撑结构比较适合,难以实现机械结构的优化设计。利用机械敏感度直接建立机械结构加工装配误差与光学系统成像质量之间的关系,可以直观地描述机械结构误差对镜片的偏心、倾斜和间隔误差的影响,从而反映了对光学系统的成像质量的影响。结构设计者依据不同机械支撑结构的机械敏感度表来选择适用于该光学系统的最佳支撑结构,从而实现对物镜光机结构的优化。
- 门树东刘春来赵阳王平
- 关键词：光学设计优化设计
- 一种高承载能力的二维角度调整架
- 本发明提出了一种高承载能力的二维角度调整架，其适用于干涉检测过程中较大质量和较大口径的光学元件的二维精密角度调整，其结构主要由调整架和元件盒组成。调整架结构主要包括基座、调整板，两个挂板、单关节组件、双关节拉杆组件和两个...
- 刘春来王平李显凌杨怀江隋永新
- 文献传递
- 倾斜可调的吊装装置
- 倾斜可调的吊装装置，涉及吊装装置领域，解决了现有吊装装置存在的只能在水平方向和竖直方向调节，无法实现倾斜的调节的问题。该装置包括中心轴、下调整板、球轴承、套筒、上调整板、碟形弹簧、吊环、水平仪和倾斜调节执行结构；球轴承套...
- 东立剑刘春来倪明阳张巍隋永新杨怀江
- 文献传递
- 一种镜框基准环面平面度检测支撑装置
- 一种镜框基准环面平面度检测支撑装置属于精密机械检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的检测效率低的问题，实现对镜框的支撑。本发明包括底座、主支撑钉、辅助支撑钉、压力传感器和气动调节单元；底座上端面开有环形凹槽，三个主支撑...
- 刘春来王平张巍杨怀江隋永新
- 文献传递
- 物距可调的有限远共轭距光学变焦系统
- 一种物距可调的有限远共轭距光学变焦系统包括沿光轴依次顺序设置的调物距镜组、变倍镜组、补偿镜组和后固定镜组，调物距镜组能够沿光轴方向移动，用以将不同物距的物面在固定位置的像面上清晰成像，在不移动物面或整个变焦系统的情况下清...
- 赵阳王平刘春来门树东杨怀江隋永新
- 文献传递
