宋亚杰
- 作品数：5 被引量：4H指数：2
- 供职机构：华南师范大学更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金广东省科技计划工业攻关项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于偏振光反射多点法测量薄膜参数被引量：2
- 2012年
- 依据偏振光反射原理和多角度测量的多点拟合算法,实现了对薄膜材料折射率和厚度的精确测量。将高准直半导体激光入射到薄膜样品与空气分界面上,逐步旋转样品或改变样品表面的入射角,得到待测样品的反射率随入射角变化曲线。在曲线上取不同入射角处所对应的反射率,根据计算公式求解出多组薄膜厚度和折射率。利用已测量的多组反射率与求解出的薄膜参数相应反射率拟合后可确定出薄膜参数最优解。在求出的薄膜参数附近拓展一定范围再次拟合,可求出更精确的薄膜参数。基于此方法测量了SiO2薄膜的折射率和厚度,测量折射率误差不超过0.3%,厚度误差不超过0.07%。
- 周进朝宋亚杰曾宪佑王泽斌黄佐华
- 关键词：折射率厚度偏振光
- 测量薄膜厚度和折射率的方法及装置
- 本发明公开一种测量薄膜厚度和折射率的方法及装置与应用。该方法为采用至少三束光束同时以不同入射角投射到薄膜样品表面同一点或位置，反射光束的强度由阵列光电探测器接收，再与入射光束光强比较，计算出各光束的反射率，最后与理论公式...
- 黄佐华宋亚杰
- 文献传递
- 测量薄膜厚度和折射率的方法及装置
- 本发明公开一种测量薄膜厚度和折射率的方法及装置与应用。该方法为采用至少三束光束同时以不同入射角投射到薄膜样品表面同一点或位置，反射光束的强度由阵列光电探测器接收，再与入射光束光强比较，计算出各光束的反射率，最后与理论公式...
- 黄佐华宋亚杰
- 文献传递
- 偏振光反射法测量薄膜厚度和折射率的研究
- 随着薄膜及薄膜器件在科研和实际应用中的普及，精确及快速测量薄膜光学参数变得越来越重要。本文综述国内外测量薄膜光学参数的主要方法及其特点，详细、系统地介绍了偏振光反射法测量薄膜厚度及折射率的基本原理;在分析偏振光反射三点拟...
- 宋亚杰
- 关键词：反射率薄膜厚度折射率最小二乘法
- 基于ArcEngine的空间权重矩阵的实现与应用被引量：2
- 2010年
- 针对ArcGIS的空间分析能力,利用ArcEngine组件设计了面向空间离散点和区域多边形空间权重矩阵生成算法,使用C#语言在计算机上实现。用该算法对郑州市GDP数据构建了两种空间权重矩阵,并进行了空间相关性分析。
- 李军利宋亚杰
- 关键词：空间自相关ARCENGINE
