冯金花
- 作品数：34 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金四川省科技支撑计划四川省杰出青年科技基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法
- 本发明公开了一种基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法。该方法利用等相位变化结构光条纹图案投影在被测物表面，并使用上位机进行z向扫描，用相移法获得条纹调制度随扫描距离的变化曲线，然后通过峰值提取结合非线性拟合...
- 杨可君谢仲业刘江辉冯金花唐燕赵立新胡松
- 文献传递
- 一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法
- 本发明提供一种叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法，所述的方法在照明系统经扩束后由光纤引入光路，经过聚光镜均匀照明标记光栅，标记光栅经第一远心成像系统，再由棱镜成像在硅片表面，被反射后经过棱镜，第二远心成像系统；通过分光棱镜将...
- 冯金花胡松何渝李艳丽
- 文献传递
- DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计被引量：1
- 2014年
- 根据无掩模光刻机的整体结构和工作流程,开发了一款适用于DMD无掩模光刻机的曝光软件。对系统进行了整合,运用开发环境VS2010实现了各个独立的模块的设计。通过串口通信的方式与下位机建立连接,实现对工件台的控制;依托Access2007创建数据库,管理曝光数据及工艺文件;采用图像处理算法和坐标转换技术,实现了曝光过程中的实时自动调焦和套刻对准功能,具有良好的人机交互界面。实验结果表明,软件界面设计友好,上、下位机数据传输稳定,能对工艺文件和曝光实验数据进行管理;上位机软件实现的自动调焦和自动对准功能具有很好的稳定性和可靠性。
- 冯金花胡松李艳丽何渝
- 关键词：无掩模光刻数字光刻数据管理调焦
- 一种基于双掩模对准的双面光刻工件台
- 本发明公开了一种基于双掩模对准的双面光刻工件台，包括基座、下掩模调平机构、上掩模升降机构；基座为整个工件台的安装基准，由底板与导轨安装座组成；下掩模调平机构与底板连接，半球、球碗与弹簧机构实现上掩模在下降过程中与下掩模的...
- 杜婧冯金花刘俊伯
- 文献传递
- 一种大梯度自由曲面测量方法
- 本发明公开了一种大梯度自由曲面测量方法，对待测自由曲面施加一定的角度，完成待测自由曲面衍射物光波的空间频率调制，被图像传感器采集。通过调整多个角度并记录多帧自由曲面不同角度的全息图，然后通过图像处理算法，完成每帧全息图条...
- 金川何渝唐燕冯金花胡松赵立新
- 全局曲线拟合实现高厚度检测分辨力的结构光照明显微术被引量：1
- 2022年
- 提出一种利用调制深度响应曲线的全局信息进行重叠峰识别的结构光照明显微术,采用有边界约束的最优化算法解析得到薄膜样本各表面的高度,进而实现厚度分辨力高、精度高、计算速度快的膜层厚度分布测量与表面形貌重构。根据仿真分析,在理想条件下所提方法可将厚度检测分辨力从483 nm提升至175 nm,并通过实验证明了所提方法可减少迭代次数,且具有较高的重复性精度。
- 杨可君韩陈浩磊刘磊冯金花冯金花胡松胡松
- 关键词：光学检测光学薄膜厚度检测
- 照明场非均匀性探测系统及方法
- 本公开提供一种照明场非均匀性探测系统及方法，系统包括：位移控制模块，用于控制运动台带动光电探测器和图像传感器在照明场中移动；照明信号采集模块，用于控制光电探测器以不同采集频率采集不同的响应信号及控制图像传感器采集响应图像...
- 罗先刚李奕冯金花吴斯翰张绍宇何渝赵立新
- 一种可控跨尺度激光干涉光刻装置
- 本发明公开了一种可控跨尺度激光干涉光刻装置，包括支撑组件、精密工件台、光路组件、光路调整组件、视频图像对准模块及分割图形掩模调整台。支撑组件为整个装置的安装基准，由隔振光学平台、支座、支板及吊杆组成；精密工件台以实现同步...
- 杜婧冯金花龚建文
- 文献传递
- 一种用于纳米位移测量的修正方法
- 本发明公开了一种用于纳米位移测量的修正方法，该方法对光栅偏振调制纳米位移测量方法的计算模型进行了修正，通过高精度纳米位移台进行扫描标定，拟合计算确定修正模型的参数，再应用最优化算法得出位移量。本方法综合考虑了测量系统中的...
- 何渝冯金花刘俊伯谷林
- 文献传递
- 一种光刻机自动对准的图像处理方法
- 本发明提供一种光刻机自动对准的图像处理方法，所述的方法首先对采集到的标记图像进行噪声平滑处理，求出最佳阈值进行二值化，通过视频求和投影法识别目标的边缘位置，求出标记的中心进行粗略对准。再通过边缘搜索和曲线拟合进行精确定位...
- 冯金花李艳丽杨勇罗正全邢薇
- 文献传递
