郭洪波
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金长春市科技攻关计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 全聚合物SU8光波导制备工艺及其特性研究被引量：2
- 2008年
- 对一种全聚合物SU8光波导的制备工艺和波导特性进行了研究。测试结果显示,所制备光波导在1550 nm的传输损耗为2.01 dB/cm,且具有高的侧壁陡直度。详细研究了光波导制备工艺过程中前烘温度和时间、光刻时间、后烘温度和时间以及显影时间等工艺参数对波导质量的影响,给出了4.5μm×4.0μm尺寸单模波导制备的优化工艺。讨论了采用稀释后的SU8材料所制备的光波导出现侧蚀的原因以及改进的方法。
- 孔光明鄂书林邓文渊赵虎旦郭洪波
- 关键词：光刻工艺参数
- 聚合物双环谐振滤波器的研究被引量：5
- 2009年
- 设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器,并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层,聚合物CYTOP为下包层,在硅基底上完成了器件的制备。器件的波导端面尺寸为2μm×1μm,与设计值相符,扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高。直波导传输损耗的测试结果表明,在1550 nm波长,直波导传输损耗约为2.0 dB/cm。测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图。测试结果表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,微环谐振滤波器的通光性能良好,实现了滤波功能,器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 nm,与设计参数值很接近。研究结果表明采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行。
- 孔光明鄂书林邓文渊郭洪波张大明陈长鸣
- 关键词：集成光学微环谐振滤波器紫外光刻SU-8
- 用于传感的聚合物微谐振环的研制被引量：2
- 2008年
- 对一种用于传感的聚合物微谐振环进行了研制。器件为多模耦合器结构,作为微谐振环的输入/输出耦合结构,微谐振环采用跑道形结构。首先分析了器件的原理,给出了器件的优化设计参数。采用紫外光敏材料SU-8和CYTOP作为波导芯层和下包层材料,制作了上述结构的微谐振环器件,并进行了测试。扫描电镜的结果显示,所制备器件的整体形貌比较清晰,波导结构均匀光滑,侧壁陡直度较高。采用截断法测得单模直波导的传输损耗约为2.2 dB/cm。对多模耦合器(MMI)结构和弯曲波导的测试表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比,且损耗较低,而纯弯曲波导结构的通光性能良好。测量得到的器件谐振输出光谱表明,器件在主谐振峰处的插入损耗约为38 dB,自由光谱区(FSR)约为1.87 nm。通过数据处理分析得到弯曲波导的传输损耗约为5.2 dB/cm。提出了进一步降低器件损耗、改善器件性能的措施。
- 郭洪波鄂书林邓文渊孔光明
- 关键词：传感
