邓文渊
- 作品数：103 被引量：166H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
- 新型2×2聚合物波导垂直耦合器的研究
- 2007年
- 对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究。首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系。模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB。其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器。实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点。
- 赵虎旦鄂书林邓文渊
- 关键词：光束传播法聚合物波导
- 超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法被引量：4
- 2011年
- 原子力显微镜(AFM)是评价亚纳米级表面粗糙度σRMS最主要的测试仪器,但其测试结果会因采样条件(采样间距、采样点数)及测量点位置变化而改变。以AFM测试超光滑光学基底随机表面为例,应用累积功率谱理论建立了确定合理采样条件的方法,避免了采样条件选取不当带来的数据丢失或冗余;通过全局优化选取测量点和局部优化选取测量点相结合,降低了样品表面区域性差异给测试结果带来的不确定性,并大大减少了获得可靠测试结果所需的测试量。上述工作为超光滑光学基底AFM测试提供了有效方案。
- 靳京城金春水邓文渊喻波
- 关键词：原子力显微镜
- 基于弯曲损耗的光纤温度传感器被引量：3
- 2009年
- 为了推导多模光纤弯曲损耗与弯曲半径、环境温度的关系,采用了WKB法求解非均匀直光纤的传播模数,并将弯曲光纤的有效折射率、弯曲光纤截止传播常数和光纤的热光效应同时引入到非均匀直光纤有效传播模数中。利用多模光纤进行实验验证,研制出测温灵敏度为0.1/℃、测温范围为10℃～70℃的光纤温度传感器。结果表明,弯曲损耗随弯曲半径的增大而减小,随环境温度的升高而减小,可以利用弯曲损耗测量环境温度。
- 周广丽鄂书林邓文渊
- 关键词：光纤光学光纤温度传感器有效折射率弯曲损耗
- 一种深紫外光学薄膜处理装置
- 一种深紫外光学薄膜处理装置涉及深紫外光学技术应用领域，该装置包括：控制模块和处理腔。控制模块对处理腔的工作状态进行设定和控制，处理腔对深紫外光学薄膜进行处理；控制模块包括：变压器、电容、数字电路板、第一开关、第二开关和第...
- 邓文渊金春水常艳贺靳京城
- 文献传递
- 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置
- 辐照密度高均匀性的ArF激光薄膜元件损伤测试装置涉及ArF准分子激光薄膜元件应用技术领域，该装置包括：ArF激光传输模块、样品表面ArF激光辐射能量密度实时监控模块、光学薄膜样品表面损伤的实时监控与判别模块、电动样品控制...
- 邓文渊金春水常艳贺靳京城
- 一种深紫外波段宽带分束薄膜膜层的制备方法
- 本发明公开了一种深紫外波段宽带分束薄膜膜层的制备方法，所述制备方法包括：获取所述深紫外波段宽带分束薄膜中膜层的目标沉积厚度；依据所述目标沉积厚度，对所述膜层进行实验沉积；在所述膜层沉积完成后，获取所述膜层的测量误差值；依...
- 邓文渊李春金春水姚舜
- 文献传递
- 一种在线测试光学元件激光损伤的方法及装置
- 本发明公开了一种在线测试光学元件激光损伤的方法装置。该方法包括以下步骤：产生激光，并辐照到光学元件的表面；对激光辐照到光学元件的表面后激发出的荧光信号进行荧光成像，以形成荧光图像，并且收集激光辐照光学元件的表面时所激发的...
- 邓文渊金春水靳京城李春周烽
- 文献传递
- 质子交换LiTaO_3光波导特性及晶格常数变化被引量：4
- 2001年
- 采用气相质子交换方法，在Ｚ－切ＬｉＴａＯ３晶体表面制备平面光滑波导层。样品制备采用２４５℃苯甲酸气体，在 ＬｉＴａＯ３晶体在－Ｃ和＋Ｃ表面交换 ８～２０ 小时。质子交换层在 ＬｉＴａＯ３表面形成，并用棱镜耦合测量波导样品。然后在ＨＦ：ＨＮＯ３酸中用化学方法腐蚀波导层，并用电子显微镜观测光波导层与衬底界面的形貌。用Ｘ射线衍射法，测量ＬｉＴａＯ３质子交换光波层的晶格常数变化。用双晶Ｘ射线测量质子交换（ＰＥ）和退火质子交换（ＡＰＥ）波导层晶格常数的变化。样品的Ｘ射线衍射曲线表明，ＰＥ和ＡＰＥ波导晶格常数的变化不同。实验中，还测量了有无极畴反转ＬｉＴａＯ３晶格常数的改变。
- 马少杰廖燕平邓文渊张红坡李玉善刘弦
- 关键词：质子交换光波导LITAO3晶格常数钽酸锂
- 波导光开关及其制作方法
- 本发明涉及一种三维垂直耦合型波导光开关及其制作方法，波导光开关采用五层膜结构，从基底硅片至金属电极依次为下波导下包层、下波导芯层、垂直耦合层、上波导芯层、上波导上包层；下波导包层和上波导包层、垂直耦合层选用聚酯类聚合物，...
- 鄂书林孔光明赵虎旦邓文渊
- 文献传递
- 气相质子交换LiTaO3光波导及其特性
- 2002年
- 本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导，测量了Z-切LiTaO3光波导的参数（交换深度d和表面折射率增量△nc）和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱，给出了光波导层的折射率分布，并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明：非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近，但表面非寻常折射率增量（△nc）更大，其折射率分布更接近于高斯型。
- 邓文渊李玉善马少杰鄂书林
- 关键词：LITAO3晶体折射率分布
