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汪红波

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：西南交通大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 6篇刻蚀
  • 5篇单晶
  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇单晶硅
  • 4篇选择性刻蚀
  • 4篇微悬臂
  • 4篇结构层
  • 4篇光敏材料
  • 4篇光电式
  • 3篇压痕
  • 3篇纳米
  • 2篇针尖
  • 2篇速度传感器
  • 2篇批量化
  • 2篇气敏
  • 2篇气敏材料
  • 2篇气敏传感器
  • 2篇氢氧化

机构

  • 12篇西南交通大学

作者

  • 12篇汪红波
  • 11篇余丙军
  • 11篇钱林茂
  • 7篇陈磊
  • 7篇蒋淑兰
  • 4篇李斌
  • 3篇江亮
  • 2篇肖晨
  • 1篇吴磊
  • 1篇彭勇

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于微悬臂投影的光电式加速度传感器
一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
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基于微悬臂投影的光电式气敏传感器
一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
基于空心硅纳米线结构氢气传感器制备方法及氢气传感器
本发明基于空心硅纳米线结构氢气传感器制备方法，操作简单，成本低，选用双层悬空纳米结构纳米材料，先采用蚀刻溶液形成单层纳米结构纳米材料，再采用金属辅助化学蚀刻工艺，形成空心纳米线结构，从而进一步制备具有高比表面积的基于空心...
赵志俊徐先武汪红波余丙军钱林茂
基于压痕诱导选择性刻蚀的单晶硅表面针尖的加工方法
本发明公开了一种基于压痕诱导选择性刻蚀的单晶硅表面针尖的加工方法，包括以下步骤：S1、将单晶硅(100)表面清洗干净，对单晶硅(100)表面进行氧化层去除处理；S2、利用Berkovich探针在单晶硅(100)表面做压痕...
余丙军金晨宁钱林茂刘潇枭肖晨汪红波
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基于微悬臂投影的光电式加速度传感器
一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
基于光化学辅助选择性刻蚀的砷化镓表面纳米加工方法
本发明公开了一种基于光化学辅助选择性刻蚀的砷化镓表面纳米加工方法，包括以下步骤：S1、采用机械刻划或压痕设备在洁净的砷化镓表面进行划痕或压痕加工；S2、采用混合刻蚀剂对砷化镓表面进行紫外光化学辅助刻蚀，刻蚀完成后对砷化镓...
余丙军吴磊范志涛彭勇汪红波钱林茂
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一种基于紫外臭氧的单晶硅表面纳米加工方法
本发明公开了一种基于紫外臭氧的单晶硅表面纳米加工方法，该方法不但可以简单快速的在单晶硅样品形成一层致密且均匀的硅氧化物(SiO<Sub>X</Sub>)薄层，而且可以获得具有大量羟基(‑OH)的超亲水表面。结合扫描探针设...
钱林茂汪红波蒋淑兰余丙军陈磊江亮
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基于微悬臂投影的光电式气敏传感器
一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
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基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法
本发明公开了一种基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法，包括以下步骤：S1、在大于单晶硅屈服极限的接触压力下利用金刚石探针在单晶硅样品表面进行刻划，对刻划后的单晶硅样品进行清洗以去除表面的磨屑和杂质；S2、将清洗...
钱林茂汪红波余丙军蒋淑兰陈磊江亮
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高效摩擦诱导纳米加工的机理及应用研究
纳米技术是具有广泛应用前景的战略性前沿技术，世界各国已将纳米技术列入促进国家经济发展和解决关键问题的核心技术领域。单晶硅因具优异的综合性能、良好的稳定性和可靠性、成熟的制备工艺以及多样化的加工技术而依然是当今集成电路、光...
汪红波
关键词：单晶硅选择性刻蚀
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