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余丙军

作品数：78 被引量：22H指数：3
供职机构：西南交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省青年科技基金湖南省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术电子电信文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 67篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 9篇机械工程
  • 7篇一般工业技术
  • 4篇电子电信
  • 3篇文化科学
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 24篇单晶
  • 22篇刻蚀
  • 18篇纳米
  • 17篇选择性刻蚀
  • 16篇单晶硅
  • 14篇针尖
  • 12篇原子力显微镜
  • 12篇扫描探针显微...
  • 9篇探针
  • 9篇感器
  • 9篇传感
  • 9篇传感器
  • 8篇临界载荷
  • 7篇点接触
  • 7篇微纳米加工
  • 6篇砷化镓
  • 6篇冠状
  • 6篇硅片
  • 5篇刻划
  • 4篇单晶片

机构

  • 78篇西南交通大学
  • 1篇南华大学

作者

  • 78篇余丙军
  • 75篇钱林茂
  • 27篇陈磊
  • 21篇宋晨飞
  • 19篇周仲荣
  • 14篇郭剑
  • 12篇蒋淑兰
  • 11篇汪红波
  • 7篇张超杰
  • 7篇江亮
  • 6篇余家欣
  • 6篇高健
  • 5篇王晓东
  • 4篇吴磊
  • 4篇李斌
  • 4篇唐鹏
  • 4篇王丰
  • 3篇王冕
  • 3篇彭勇
  • 3篇陈家良

传媒

  • 3篇机械工程学报
  • 3篇摩擦学学报（...
  • 1篇半导体光电
  • 1篇中国科技论文
  • 1篇第九届全国摩...

年份

  • 2篇2024
  • 3篇2023
  • 5篇2022
  • 1篇2021
  • 2篇2020
  • 6篇2019
  • 8篇2018
  • 7篇2017
  • 10篇2016
  • 5篇2015
  • 8篇2014
  • 4篇2013
  • 9篇2012
  • 3篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
共 78 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架
一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架，其探针固定盘上表面的槽为矩形槽，探针固定线为耐腐蚀和透明片均为耐腐蚀材料制成；探针固定盘下表面安装有横跨凸台的弹性的探针固定线，其具体结构是：探针固定线的前端插入探针固定...
钱林茂王晓东王冕陈磊余丙军何洪途
文献传递
多点接触模式下的大面积摩擦诱导微米级加工装置
一种多点接触模式下的大面积摩擦诱导微米级加工装置，由基座、加工平台驱动装置、加载机构和数据采集及控制系统组成，其中：加工平台驱动装置由水平二维电控平移台、手动三维位移台和“L”型的样品台主成；加载机构的构成则是：基座上表...
钱林茂吴治江余丙军宋晨飞周仲荣
文献传递
不同温度下砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀特性研究被引量：1
2016年
利用摩擦诱导选择性刻蚀的方法,可在砷化镓表面加工一系列的纳米结构;该纳米加工方法无需掩膜,且加工效率高、成本低,具有应用前景.为了进一步研究砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的特性,优化加工参数,本文作者在不同温度下利用H_2SO_4-H_2O_2溶液对砷化镓表面进行选择性刻蚀,考察了刻蚀后所形成的凸起高度及砷化镓表面粗糙度随刻蚀时间和刻蚀温度的变化规律,阐释了温度对砷化镓表面刻蚀的影响机制;最后从加工高度和表面粗糙度着眼,探讨了砷化镓表面摩擦诱导选择性刻蚀的最佳条件.本研究为砷化镓表面选择性刻蚀加工的条件优化提供了重要依据.
高健余丙军金晨宁肖晨钱林茂
关键词：温度砷化镓AFM
一种基于摩擦诱导的单晶石英表面选择性刻蚀方法
一种基于摩擦诱导的单晶石英表面选择性刻蚀方法，其方法是：将尖端为球冠状的探针安装在原子力显微镜上，将单晶石英固定在样品台上，启动原子力显微镜，给探针施加定载荷F或者变载荷F′，F的值或F′的变化范围为石英表面发生屈服的临...
钱林茂宋晨飞周仲荣余家欣余丙军陈磊
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一种利用UV/O<Sub>3</Sub>系统制备的高质量摩擦防护膜
本发明公开一种利用UV/O<Sub>3</Sub>系统制备的高质量摩擦防护膜，应用于材料表面防护领域，针对现有的固体材料表面防护膜耐磨性能差且摩擦性高的问题，本发明首先使固体材料在UV/O<Sub>3</Sub>系统中进...
余丙军范志涛张沛吴磊钱林茂
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基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法
一种基于摩擦化学诱导刻蚀的单晶硅表面无损伤纳米加工方法，主要应用于单晶硅表面纳米结构的加工。其具体操作方法是：先用湿法氧化的方法在单晶硅表面生长SiO<Sub>x</Sub>薄层，然后将生长有SiO<Sub>x</Sub...
钱林茂郭剑陈磊余丙军宋晨飞
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基于摩擦诱导TMAH选择性刻蚀的硅表面纳米加工方法
本发明公开了一种基于摩擦诱导TMAH选择性刻蚀的硅表面纳米加工方法，包括以下步骤：S1、对干净的单晶硅表面进行氧化层去除处理，再依次对其表面进行清洗、干燥；S2、通过原子力显微镜或划痕设备利用金刚石针尖在单晶硅表面进行表...
余丙军周超李嘉明郭光冉吴磊钱林茂
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基于微悬臂投影的光电式加速度传感器
一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
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用于混合尺度纳流体芯片的凸模具的制备方法及应用
本发明公开了用于混合尺度纳流体芯片的凸模具的制备方法及应用，该方法的加工步骤为：首先采用微纳刻划设备对单晶硅样品进行刻划，再置入硅烷和乙醇的混合溶液中，使硅烷分子充分吸附在刻划区域；然后采用刻蚀溶液对单晶硅样品进行选择性...
余丙军吴磊陈婷婷崔立聪钱林茂
一种测试纳米厚度薄膜疲劳特性的试验方法
一种测试纳米厚度薄膜疲劳特性的试验方法，其作法主要是利用压痕设备在疲劳试验中连续记录纳米厚度薄膜的载荷F和位移h<Sub>t</Sub>数据，并分析得到每次加卸载循环中的接触刚度数值，当接触刚度出现连续性的急剧下降时，判...
钱林茂周仲荣张爽朱旻昊余丙军石心余
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