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谢利华
作品数:
2
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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发文基金:
载人航天领域预先研究项
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相关领域:
自动化与计算机技术
电气工程
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合作作者
钱力
航天医学工程研究所
肖友文
中国电子科技集团公司第四十八研...
谢贵久
中国电子科技集团公司第四十八研...
曾固
航天医学工程研究所
王玉明
中国电子科技集团公司第四十八研...
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机构
2篇
中国电子科技...
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航天医学工程...
作者
2篇
谢利华
1篇
王玉明
1篇
曾固
1篇
陈特超
1篇
谢贵久
1篇
肖友文
1篇
钱力
传媒
1篇
电子工业专用...
1篇
载人航天
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1篇
2012
1篇
2010
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太阳能电池生产线中的新型等离子体刻蚀机的研制
被引量:2
2010年
介绍了用于太阳能电池片生产工艺中的新型等离子体刻蚀机及设备的工作原理、构造、简单的工艺试验结果。与现在生产线上普遍使用的老式等离子体刻蚀机相比,它大大提高了生产产能,减少了设备维护工作量。该设备操作简单,是一种实用、高效的生产型工艺设备。
陈特超
谢利华
关键词:
等离子体
反应离子
钯铬合金电阻氢气传感器研究
被引量:7
2012年
采用钯铬合金作为氢敏材料,利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0-4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性,传感器响应信号相对强度随着温度升高减小,传感器响应时间随着温度升高而减小。
肖友文
谢贵久
王玉明
谢利华
曾固
钱力
宋祖殷
关键词:
氢气传感器
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