肖友文
- 作品数：6 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 发文基金：载人航天领域预先研究项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 薄膜高温热流测量技术研究被引量：8
- 2012年
- 薄膜热流传感器具有响应时间快,体积小等优势,可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量。热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小,通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速响应薄膜高温热流传感器。试验结果表明:该传感器热响应时间可达0.1s,温度可达900℃。
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- 关键词：离子束溅射高温快速响应
- 钯铬合金电阻氢气传感器研究被引量：7
- 2012年
- 采用钯铬合金作为氢敏材料，利用离子柬技术制备薄膜式氢气传感器。测试了传感器对0-4%浓度范围氢气的敏感特性，结果显示，传感器对0-4％氢气浓度具有良好的线性输出特性，并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性，传感器响应信号相对强度随着温度升高减小，传感器响应时间随着温度升高而减小。
- 肖友文谢贵久王玉明谢利华曾固钱力宋祖殷
- 关键词：氢气传感器
- 70mm平行束卡夫曼源的设计被引量：2
- 1997年
- 本文介绍一种出口束径为￠70mm的平行束离子源的设计原理,结构特点及离子源工作性能.当加束电压为1200V,孤流为4A时,净加速束流超过100mA.可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻.
- 肖友文
- 关键词：离子源束流离子束溅射
- 气液两相流红外检测技术研究被引量：2
- 2012年
- 气液两相流检测是目前载人航天电解制氧装置急需解决的关键技术之一。设计一种基于红外检测的传感器实现对低浓度液/气含量的测量,通过对脉宽调制(PWM)驱动红外发射、TEC恒温控制、抗干扰等技术研究,成功制得气液两相流传感器。实验表明,该传感器可测量液态水含量0～30%的气液两相流,系统误差优于10%,能够满足电解制氧装置两相流检测的需要。
- 颜志红何峰谢贵久张建国肖友文袁云华宋祖殷
- 关键词：气液两相流红外检测
- LD-4型多离子束共溅射镀膜机
- 安志超华德清陈特超席光荣肖友文
- 该机是根据带能量的离子束轰击固体表面的溅射原理研制的半导体工艺设备。只需在真空室外转换靶位，实现一机两种镀膜技术。一是多个离子束同时轰击各自对应的靶，溅出的各个靶材原子同时淀积在一个衬底上的共溅射镀膜技术。二是各个靶材溅...
- 关键词：
- 关键词：镀膜机
- 薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究被引量：4
- 2012年
- 文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器。测试了传感器对0～4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0～4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性。
- 肖友文景涛谢贵久张建国王玉明章良
- 关键词：氢气传感器
