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王亚楠
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
曹春芳
中国科学院上海微系统与信息技术...
王庶民
中国科学院上海微系统与信息技术...
李耀耀
中国科学院上海微系统与信息技术...
王朋
中国科学院上海微系统与信息技术...
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王亚楠
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2018
1篇
2017
1篇
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一种边发射半导体激光器腔面的再生方法
本发明涉及一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力...
王亚楠
李耀耀
王庶民
曹春芳
文献传递
锗基InAs量子点激光器的腔面失效及再生的研究
2017年
围绕锗基InAs量子点激光器,开展了激光器腔面失效及再生的研究。研究并分析了灾变性光学镜面损伤产生的机理及其对激光器腔面的影响,开展了腔面再生研究,发展了一套创新性的腔面再生工艺并实现了失效的锗基InAs量子点激光器的再生。根据锗基InAs量子点激光器材料结构设计腐蚀工艺,通过选择性腐蚀在激光器腔面制备出悬臂结构,采用细针解理使悬臂结构自然解理,获得新的激光器谐振腔面,失效激光器重新工作。对比了激光器失效前和再生后的工作性能,结果表明因灾变性光学镜面损伤而失效的锗基InAs量子点激光器获得全新的谐振腔面,锗基激光器器件性能和失效前相当。
王亚楠
李耀耀
王朋
曹春芳
朱忠赟珅
王庶民
关键词:
激光器
一种边发射半导体激光器腔面的再生方法
本发明涉及一种边发射半导体激光器腔面的再生方法,包括:(1)采用高选择比腐蚀剂对失效的边发射半导体激光器进行选择性腐蚀,在激光器两端损坏的谐振腔腔面处形成悬臂结构;(2)采用压针对上述悬臂结构外侧靠近激光器腔面处施加外力...
王亚楠
李耀耀
王庶民
曹春芳
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