苏莹
- 作品数：9 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 一种基于表面等离极化激元波导全光二极管的结构设计
- 本发明公开了一种实现全光二极管功能的结构设计。更具体地，是一种基于金属?介质?金属（MIM）波导的表面等离极化激元全光二极管结构。其包括正向入射波导/反向出射波导、增益谐振腔、损耗谐振腔以及正向出射波导/反向入射波导。两...
- 张志东闫树斌崔建功薛晨阳张文栋陈慧斌王瑞兵苏莹赵学峰
- 文献传递
- 应用于谐振式光学陀螺的正弦波调制解调技术被引量：3
- 2016年
- 谐振式光学陀螺(ROG)是一种基于光学Sagnac效应检测转动角速度的高精度惯性传感器。锯齿波和三角波调制会导致谐振信号出现大量毛刺噪声以及复位脉冲的问题,通过正弦波调制解调可以解决上述问题,而且具有更高调制频率的优势。搭建了光学微谐振腔调制解调实验系统,分析了正弦波调制参数的变化对谐振曲线与鉴频曲线的影响。在调制频率为4 MHz,调制幅值为2 V时,得到了最为平滑的谐振曲线与最佳线性度的鉴频曲线。为光学微谐振腔在谐振式陀螺系统应用中相位调制选择最佳的参数提供了参考。
- 仇海涛闫树斌张成飞骆亮苏莹闫徐林
- 关键词：谐振式光纤陀螺谐振曲线
- 一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法
- 本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输...
- 闫树斌张志东崔建功薛晨阳张文栋王瑞兵骆亮陈慧斌苏莹
- 基于SOI微环谐振腔的表面光滑化研究
- 2017年
- 针对硅波导粗糙侧壁引起的散射损耗是影响SOI微环谐振腔传输性能主要因素的问题,采用热氧化对MEMS工艺制备的微环谐振腔粗糙侧壁进行表面光滑化修饰。利用耦合实验测试其传输性能,同时分析了热氧化温度与微环谐振腔传输特性之间的关系。实验结果表明,氧化温度在1 000℃时,硅波导粗糙侧壁改善效果明显,此时微环谐振腔具有较好的耦合效率和较高的Q值,Q值高达1.2×104。实验结果为硅波导传感器表面光滑化研究提供了重要的参考依据。
- 苏莹赵学峰张志东闫树斌
- 关键词：绝缘体上硅微环谐振腔热氧化品质因数传输损耗
- 一种基于表面等离极化激元波导全光二极管的结构设计
- 本发明公开了一种实现全光二极管功能的结构设计。更具体地，是一种基于金属‑介质‑金属（MIM）波导的表面等离极化激元全光二极管结构。其包括正向入射波导/反向出射波导、增益谐振腔、损耗谐振腔以及正向出射波导/反向入射波导。两...
- 张志东闫树斌崔建功薛晨阳张文栋陈慧斌王瑞兵苏莹赵学峰
- 文献传递
- 悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究被引量：3
- 2017年
- 针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题,提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理,然后对悬臂梁结构进行了建模仿真,同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数,最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台,对所加工的环形谐振腔进行性能测试,实验测得环形谐振腔的Q值为7.75×10~4,传感器的灵敏度为31 pm/k Pa,可以满足微压传感器高灵敏度的要求。
- 苏莹闫树斌张志东汤跃王瑞兵陈慧斌
- 关键词：绝缘体上硅悬臂梁环形谐振腔品质因数
- 硅基光波导激光表面光滑化仿真方法
- 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域，尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法，具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法，解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中，凭经验...
- 闫树斌张文栋张志东薛晨阳崔建功陈慧斌骆亮苏莹王瑞兵
- 文献传递
- 一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法
- 本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输...
- 闫树斌张志东崔建功薛晨阳张文栋王瑞兵骆亮陈慧斌苏莹
- 文献传递
- 硅基光波导激光表面光滑化仿真方法
- 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域，尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法，具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法，解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中，凭经验...
- 闫树斌张文栋张志东薛晨阳崔建功陈慧斌骆亮苏莹王瑞兵
- 文献传递
