陈慧斌
- 作品数：10 被引量：10H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种基于表面等离极化激元波导全光二极管的结构设计
- 本发明公开了一种实现全光二极管功能的结构设计。更具体地，是一种基于金属?介质?金属（MIM）波导的表面等离极化激元全光二极管结构。其包括正向入射波导/反向出射波导、增益谐振腔、损耗谐振腔以及正向出射波导/反向入射波导。两...
- 张志东闫树斌崔建功薛晨阳张文栋陈慧斌王瑞兵苏莹赵学峰
- 文献传递
- 一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法
- 本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输...
- 闫树斌张志东崔建功薛晨阳张文栋王瑞兵骆亮陈慧斌苏莹
- 基于半圆形与矩形谐振腔耦合结构的Fano共振被引量：6
- 2016年
- 设计了一种基于金属-介质-金属波导的半圆形谐振腔与矩形谐振腔的耦合结构,采用有限元方法研究了该结构的传播特性.结果表明:透射光谱中产生一个类似Fano共振线型的共振谷,该Fano共振由半圆形谐振腔的宽谱共振和矩形谐振腔的窄谱共振相互耦合所导致.变化谐振腔的结构参量,发现该Fano共振谷位置依赖于矩形谐振腔的几何参量,而对两谐振腔相对位置的微小移动不敏感;同时,改变两谐振腔的并联方式,研究了两种衍生结构的传播特性,发现这些结构均可产生明显的Fano共振.此外,通过在谐振腔中填充不同折射率的介质材料,研究了三种结构基于Fano共振效应的折射率传感特性,其折射率敏感度最高达到750 nm/RIU.研究结果可为未来芯片上基于表面等离极化激元波导的高灵敏折射率传感器的设计提供理论依据.
- 陈慧斌张志东闫树斌焦国太
- 关键词：表面等离激元纳米传感器有限元法谐振腔波导
- KrF激光辐照SOI热效应及在纳米光波导光整加工中的应用
- 绝缘体上硅(SOI)材料因在微电子、光电子领域表现出的无与伦比的优势而成为微光机电系统的重要材料之一，其在光通信、光互联计算、数字图像处理以及军事领域具有广阔应用前景。其中，基于SOI材料的纳米光波导利用Si波导层与Si...
- 陈慧斌
- 关键词：有限元法激光辐照光整加工
- 悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究被引量：3
- 2017年
- 针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题,提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理,然后对悬臂梁结构进行了建模仿真,同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数,最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台,对所加工的环形谐振腔进行性能测试,实验测得环形谐振腔的Q值为7.75×10~4,传感器的灵敏度为31 pm/k Pa,可以满足微压传感器高灵敏度的要求。
- 苏莹闫树斌张志东汤跃王瑞兵陈慧斌
- 关键词：绝缘体上硅悬臂梁环形谐振腔品质因数
- 硅基光波导激光表面光滑化仿真方法
- 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域，尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法，具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法，解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中，凭经验...
- 闫树斌张文栋张志东薛晨阳崔建功陈慧斌骆亮苏莹王瑞兵
- 文献传递
- 一种基于表面等离极化激元波导全光二极管的结构设计
- 本发明公开了一种实现全光二极管功能的结构设计。更具体地，是一种基于金属‑介质‑金属（MIM）波导的表面等离极化激元全光二极管结构。其包括正向入射波导/反向出射波导、增益谐振腔、损耗谐振腔以及正向出射波导/反向入射波导。两...
- 张志东闫树斌崔建功薛晨阳张文栋陈慧斌王瑞兵苏莹赵学峰
- 文献传递
- 一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法
- 本发明属于光学领域和微机电系统领域，具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括：基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理：首先入射光通过光栅耦合进直波导，在直波导中传输...
- 闫树斌张志东崔建功薛晨阳张文栋王瑞兵骆亮陈慧斌苏莹
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- 硅基光波导激光表面光滑化仿真方法
- 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域，尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法，具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法，解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中，凭经验...
- 闫树斌张文栋张志东薛晨阳崔建功陈慧斌骆亮苏莹王瑞兵
- 文献传递
- SOI纳米光波导激光熔凝光整加工温度场的数值模拟及分析被引量：1
- 2017年
- 激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度场演化规律,考虑材料参数随温度变化和相变潜热的影响,建立了纳米光波导侧壁激光熔凝的二维有限元数值模型,研究了熔池边界的推进行为与不同工艺参数的映射关系。结果表明:熔池形成于波导上表面与迎光侧壁夹角处;激光入射角度一定时,熔池熔深与平均能量密度正相关;熔池形貌受控于激光入射角度,随着入射角度的减小,熔池形貌由单边U形过渡为单边V形最终呈带钝角单边V形。分析表明,较大激光入射角对应的熔池形貌更有利于波导侧壁的光整加工;据此提出先确定激光入射角度以优化熔池形貌,再选取合适平均能量密度以获得足够熔化深度的工艺方法。
- 闫树斌陈慧斌韵力宇焦国太
- 关键词：激光加热有限元方法表面粗糙度
