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陈健

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇面形
  • 2篇面形检测
  • 2篇面形误差
  • 2篇加工参数
  • 2篇光学
  • 2篇光学元件
  • 2篇光学元件加工
  • 2篇干涉仪
  • 2篇参考光

机构

  • 2篇成都精密光学...

作者

  • 2篇许乔
  • 2篇廖德锋
  • 2篇谢瑞清
  • 2篇王健
  • 2篇陈贤华
  • 2篇赵世杰
  • 2篇赵智亮
  • 2篇陈健

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
光学元件面形在位检测装置及其检测方法
本发明提供一种环抛过程中光学元件面形的在位检测装置。光学元件面形在位检测装置，按光路依次包括：平面动态干涉仪和光路转向反射镜。采用本发明的装置在位检测光学元件的面形时，平面动态干涉仪沿水平方向射出的测试光，经光路转向反射...
廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健陈健赵智亮许乔
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光学元件面形在位检测装置
本实用新型提供一种环抛过程中光学元件面形的在位检测装置。光学元件面形在位检测装置，按光路依次包括：平面动态干涉仪和光路转向反射镜。采用本实用新型的装置在位检测光学元件的面形时，平面动态干涉仪沿水平方向射出的测试光，经光路...
廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健陈健赵智亮许乔
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