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张玉龙

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学文化科学建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 15篇专利
  • 2篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 4篇射频
  • 4篇微机械
  • 4篇锚点
  • 4篇寄生效应
  • 4篇MEMS器件
  • 3篇电感
  • 3篇可调
  • 2篇电感量
  • 2篇电极
  • 2篇电路
  • 2篇应力
  • 2篇应力吸收
  • 2篇圆片
  • 2篇圆片级
  • 2篇蠕变
  • 2篇射频测试
  • 2篇射频测试仪器
  • 2篇射频性能
  • 2篇天线
  • 2篇气密

机构

  • 17篇清华大学

作者

  • 17篇张玉龙
  • 15篇刘泽文
  • 3篇郭昕

年份

  • 1篇2025
  • 2篇2024
  • 1篇2023
  • 3篇2022
  • 3篇2021
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 1篇2013
  • 1篇2008
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件
本发明公开了一种MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件，微机械薄膜结构包括：衬底；锚点座，锚点座设在衬底上；弹性薄膜组件，弹性薄膜组件包括薄膜件和应力吸收件，应力吸收件设在薄膜件上以吸收引发薄膜件蠕变的应力，薄膜件和...
刘泽文张玉龙
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基于可变电感和可变电容的双级可调谐天线
本发明提出了一种基于可变电感和可变电容的双级可调谐天线，包括：天线组件(100)；第一级可调谐电路(200)包括至少一个可变电容(201)，至少一个可变电容(201)并联在天线组件(100)上；第二级可调谐电路(300)...
刘泽文叶敏杰张玉龙
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MEMS器件的微机械薄膜结构
本发明公开了一种MEMS器件的微机械薄膜结构，微机械薄膜结构包括：衬底；锚点座，锚点座设在衬底上；薄膜件，薄膜件连接锚点座，薄膜件具有远离锚点座的设定方向和沿设定方向依次设置的多个有效宽度，有效宽度为薄膜件在垂直于设定方...
刘泽文张玉龙
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气密性射频MEMS器件的制作方法及气密性射频MEMS器件
本发明公开了一种气密性射频MEMS器件的制作方法及气密性射频MEMS器件，其中，该方法包括如下步骤：在衬底圆片上加工出TGV填实通孔结构；沉积生长出第一SiO<Sub>2</Sub>介质层，加工出传输线路及第一焊盘；沉积...
刘泽文张玉龙
薄膜材料热膨胀系数的测试装置
本发明公开了一种薄膜材料热膨胀系数的测试装置，包括热膨胀系数测试结构、加热结构和射频测试仪器。其中，热膨胀系数测试结构包括衬底、射频传输线和热膨胀系数测试MEMS结构，射频传输线包括第一信号线段和第二信号线段；热膨胀系数...
刘泽文张玉龙
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一种带有上浮栅结构的梯形射频MEMS开关
本发明涉及一种带有上浮栅结构的梯形射频MEMS开关，属于射频微电子机械系统(RFMEMS)和通信技术领域。本发明采用梯形的悬臂梁结构，通过在悬臂梁三角形外边框内沿信号方向设置一个或多个横梁，降低开关制作的工艺复杂度，并可...
刘泽文郭昕张玉龙叶敏杰
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RF MEMS器件及其制备方法
本发明提供RF MEMS器件及其制备方法，所述RF MEMS器件包括：衬底，衬底的一侧设有集成电路；第一焊盘和第二焊盘，第一焊盘和第二焊盘设在集成电路上；第一金属块和第二金属块，第一金属块设在第一焊盘上，第二金属块设在第...
刘泽文张玉龙
薄膜材料热膨胀系数的测试装置
本发明公开了一种薄膜材料热膨胀系数的测试装置，包括热膨胀系数测试结构、加热结构和射频测试仪器。其中，热膨胀系数测试结构包括衬底、射频传输线和热膨胀系数测试MEMS结构，射频传输线包括第一信号线段和第二信号线段；热膨胀系数...
刘泽文张玉龙
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RF MEMS器件及其制备方法
本发明提供RF MEMS器件及其制备方法，所述RF MEMS器件包括：衬底，衬底的一侧设有集成电路；第一焊盘和第二焊盘，第一焊盘和第二焊盘设在集成电路上；第一金属块和第二金属块，第一金属块设在第一焊盘上，第二金属块设在第...
刘泽文张玉龙
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背靠背多层堆叠结构的MEMS移相器的相控阵天线单元
本发明提出了一种背靠背多层堆叠结构的MEMS移相器的相控阵天线单元，依次包括背靠背堆叠设置的天线辐射单元、上介质基板、公共地层、下介质基板、MEMS移相器和控制电路，其中，公共地层一侧为上介质基板，公共地层另一侧为下介质...
刘泽文成俊峰张玉龙
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