刘泽文
- 作品数：191 被引量：152H指数：6
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金北京市科委项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 微机电系统开关
- 本发明提出一种微机电系统开关，包括：基底；微波传输线，设置在基底上；多通道条形极板的一端固定设置在基底上；信号功率分配过渡区与多通道条形极板的固定端相连，用于实现对多通道条形极板的功率分配；驱动电极设置在基底上且位于多通...
- 刘泽文龚著浩郭昕
- 文献传递
- 一种基于RF MEMS移相器的RFID识别天线
- 本发明涉及一种基于RF MEMS移相器的识别天线，所述天线包括五层结构，底层为馈电网络，所述馈电网络层包括功分器、RF MEMS移相器；中间层包括参考地面；中间层的上层和下层分别包括两层用于隔离的介质材料；最上层包括天线...
- 刘泽文钟亚君
- 文献传递
- 一种高密度的硅基纳米孔的制作方法
- 一种高密度的硅基纳米孔的制作方法，先在硅衬底的正面覆盖第二保护材料，在硅衬底的背面覆盖第一保护材料，将需要在硅衬底上刻蚀出的图形加工到第一保护材料、第二保护材料上，图形的深度到达硅衬底的表面，然后在硅衬底的背面运用深反应...
- 司卫华刘泽文尹明
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- RF-MEMS在未来无线通讯中的应用
- 2002年
- RF-MEMS就是利用MEMS技术制作各种用于无线通讯的射频器件或系统RF-MEMS技术不仅为制作集信息的采集、处理、传播于一体的SOC成为可能,而且表现出比传统的通讯元件具有更优越的内在性能。RF-MEMS器件包括滤波器,谐振器,微共面线和微型波导,高Q值电压调谐电容器,电感,微机械开关,天线等。这些器件具有低损耗,高性能,易于与传统的硅大规模集成电路兼容等特点。RF-MEMS器件在未来小型化低成本无线通讯中有着广泛的应用。为实现RF-MEMS实用化,仍有大量问题等待解决。
- 刘泽文刘理天
- 关键词：无线通讯谐振器微机械开关微型化电感器
- 用于硅衬底隔离的选择性多孔硅厚膜的制备
- 在硅衬底上形成高阻隔离层对于提高硅基射频电路的性能具有重要意义.采用多孔硅厚膜作为隔离层,能够极大地降低衬底高频损耗.本文对n+型硅衬底上选择性多孔硅厚膜的制备进行了研究.通过在阳极氧化反应中采用不同的HF溶液的浓度、电...
- 陈忠民刘泽文刘理天李志坚
- 关键词：多孔硅射频电路电路性能高频损耗
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- 分布式单电阻衰减器
- 本发明公开了一种分布式单电阻衰减器，包括：衬底；设置在衬底上的绝缘层；设置在绝缘层上的电阻层，以图形化形成多电极薄膜分布式电阻网络和与金属电极的触点；设置在电阻层上的信号线与地线，信号线与地线覆盖部分电阻层，以形成电极，...
- 刘泽文钟琦
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- 一种用于生物医学流体的微型可逆密封结构和制作方法
- 公开了一种用于生物医学微流体的微型可逆密封结构，包括：第一衬底，在该第一衬底上设置有图案化的PDMS密封层；第二衬底，在该第二衬底上设置有流体控制和处理功能器件；并且所述第二衬底上设置的流体控制和处理功能器件通过所述PD...
- 刘泽文秦健王子千
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- 一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构
- 一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构，利用微加工技术，在衬底表面制作出带有浮栅的桥式开关结构，通过对驱动电压的设置，对浮栅进行电子注入或抽取，从而实现在没有外加电压的情况下，开关能够自行保持闭合或者断开状态即双稳态...
- 刘泽文王政李祥尹明
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- 背靠背多层堆叠结构的MEMS移相器的相控阵天线单元
- 本发明提出了一种背靠背多层堆叠结构的MEMS移相器的相控阵天线单元，依次包括背靠背堆叠设置的天线辐射单元、上介质基板、公共地层、下介质基板、MEMS移相器和控制电路，其中，公共地层一侧为上介质基板，公共地层另一侧为下介质...
- 刘泽文成俊峰张玉龙
- 文献传递
- 采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容
- 本发明公开了属于半导体器件范围的一种采用弯曲极板实现高电容值调节范围的微机械可变电容。在高阻硅衬底上覆盖一层热氧化层，其上是厚度为0.15～3.0μm下极板金属层，在中部的下极板上为绝缘介质层，牺牲层将上极板支撑在下极板...
- 刘泽文雷啸锋方杰刘理天李志坚
- 文献传递
