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沈飞

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：中国计量科学研究院更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇压电陶瓷驱动
  • 3篇三维形貌
  • 3篇激光干涉
  • 2篇亚微米级
  • 2篇显微干涉
  • 2篇校准
  • 2篇校准装置
  • 2篇六自由度
  • 2篇激光
  • 2篇国际单位制
  • 2篇分光
  • 2篇白光干涉
  • 2篇测距
  • 2篇测距技术
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇毫米级
  • 1篇干涉仪
  • 1篇白光
  • 1篇测量范围

机构

  • 5篇中国计量科学...

作者

  • 5篇皮磊
  • 5篇施玉书
  • 5篇高思田
  • 5篇李伟
  • 5篇李琪
  • 5篇王鹤群
  • 5篇李适
  • 5篇沈飞
  • 5篇王兴旺
  • 2篇李庆贤
  • 2篇郭鑫
  • 2篇张树

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种纳米位移台六自由度校准装置
本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
一种纳米位移台六自由度校准装置
本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
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一种计量型微纳台阶高度测量装置
本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级...
施玉书高思田沈飞王兴旺李适李伟李琪王鹤群皮磊
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一种计量型微纳台阶高度测量装置
本实用新型公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本实用新型的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用...
施玉书高思田沈飞王兴旺李适李伟李琪王鹤群皮磊
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一种计量型微纳台阶高度测量装置
本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级...
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