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王鹤群

作品数：18 被引量：9H指数：2
供职机构：中国计量科学研究院更多>>
发文基金：国家科技支撑计划高等学校学科创新引智计划更多>>
相关领域：机械工程一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇机械工程
  • 5篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇压电陶瓷驱动
  • 4篇原子力显微镜
  • 4篇三维形貌
  • 4篇线宽
  • 4篇计量学
  • 3篇深紫外
  • 3篇推杆
  • 3篇平行平板
  • 3篇气浮
  • 3篇气浮导轨
  • 3篇气浮装置
  • 3篇伪像
  • 3篇线宽测量
  • 3篇校准
  • 3篇摩擦轮
  • 3篇聚束
  • 3篇激光干涉
  • 3篇封板
  • 2篇亚微米级
  • 2篇杂散光

机构

  • 18篇中国计量科学...
  • 2篇合肥工业大学
  • 1篇天津大学

作者

  • 18篇高思田
  • 18篇李伟
  • 18篇王鹤群
  • 17篇施玉书
  • 16篇李琪
  • 16篇李适
  • 5篇皮磊
  • 5篇沈飞
  • 5篇王兴旺
  • 3篇王志新
  • 2篇李庆贤
  • 2篇郭鑫
  • 2篇张树
  • 1篇张华坤
  • 1篇郭彤

传媒

  • 4篇计量学报

年份

  • 1篇2018
  • 5篇2017
  • 5篇2016
  • 7篇2015
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于石英音叉探针的原子力显微镜测头开发被引量：4
2016年
基于石英音叉探针开发了一种自感应原子力显微镜（AFM）测头。该测头通过自身输出电信号检测悬臂振幅变化，无需外部光学检测部件，易于集成。针对测头设计了微弱电流提取及寄生电容补偿电路。利用商业化锁相放大器实现了对测头幅度信号的获取。在此基础上对测头在调幅模式下的力．距离曲线和分辨力进行了测试。利用锁相放大器内置的PID模块实现了调幅模式下对样品表面形貌的测量。实验证明，该测头灵敏度为0．624mV／nm，分辨力优于2nm。
刘雷华郭彤李伟王鹤群高思田
关键词：计量学原子力显微镜锁相放大器
用于线宽测量的双探针原子力显微镜
双探针原子力显微镜可以有效地消除传统原子力显微镜的探针形状对线宽测量的影响,实现线宽的真三维测量.双探针原子力显微镜测量装置由测头系统、双探针扫描系统、视觉对准系统、位移测量系统构成.测头系统中采用了自感应式音叉探针简化...
王鹤群李伟李琪施玉书李适高思田
关键词：线宽测量图像处理
248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜...
高思田李琪施玉书李伟李适王鹤群
文献传递
一种纳米位移台六自由度校准装置
本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜...
高思田李琪施玉书李伟李适王鹤群
248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜
一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜...
高思田李琪施玉书李伟李适王鹤群
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精密气浮位移平台
一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外...
高思田李琪施玉书李伟李适王鹤群王志新
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一种纳米位移台六自由度校准装置
本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
施玉书高思田李庆贤王兴旺李伟李琪李适王鹤群皮磊张树郭鑫沈飞
文献传递
一种计量型微纳台阶高度测量装置
本实用新型公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本实用新型的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用...
施玉书高思田沈飞王兴旺李适李伟李琪王鹤群皮磊
文献传递
一种计量型微纳台阶高度测量装置
本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级...
施玉书高思田沈飞王兴旺李适李伟李琪王鹤群皮磊
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