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史彦慧

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：石油与天然气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 2篇石油与天然气...

主题

  • 6篇射孔
  • 6篇晶圆
  • 3篇扇区
  • 3篇均匀性
  • 3篇卡盘
  • 3篇可旋转
  • 3篇干燥装置
  • 2篇喷淋
  • 2篇喷淋装置
  • 2篇清洗机
  • 2篇晶片
  • 2篇活塞杆
  • 2篇沟槽
  • 2篇半导体
  • 1篇药液
  • 1篇粘稠

机构

  • 8篇北京七星华创...

作者

  • 8篇史彦慧
  • 8篇吴仪
  • 6篇冯晓敏

年份

  • 2篇2017
  • 4篇2014
  • 2篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
清洗机摆动喷淋装置
本实用新型涉及半导体工业领域，尤其涉及一种用于晶片清洗的清洗机摆动喷淋装置。本实用新型提供的清洗机摆动喷淋装置包括喷淋臂、喷头和驱动装置，所述喷头与所述喷淋臂铰接形成第一铰接处，所述喷头在驱动装置控制下摆动。所述驱动装置...
史彦慧吴仪
文献传递
一种改善晶圆腐蚀均匀性装置
本实用新型公开了一种改善晶圆腐蚀均匀性装置，包括晶圆载具，所述晶圆载具包括旋转机构及固定机构，所述晶圆载具上端承载晶圆；所述晶圆载具下端设有至少一个扇形部件，所述晶圆载具可旋转并带动晶圆或扇形部件，所述扇形部件与晶圆半径...
冯晓敏史彦慧吴仪
文献传递
晶圆干燥装置及其干燥方法
本发明公开了一种晶圆干燥装置，包括用于承载晶圆的旋转卡盘，所述卡盘上设有扇形区域，所述扇形区域内分布多个扇形沟槽，所述扇形沟槽内设有若干可向晶圆背面喷射干燥气体的喷射孔，每个扇形沟槽内的喷射孔独立连接供干燥气体通过的管道...
史彦慧冯晓敏吴仪
一种改善晶圆腐蚀均匀性装置及方法
本发明公开了一种改善晶圆腐蚀均匀性装置及方法，包括晶圆载具，所述晶圆载具包括旋转机构及固定机构，所述晶圆载具上端承载晶圆；所述晶圆载具下端设有至少一个扇形部件，所述晶圆载具可旋转并带动晶圆或扇形部件，所述扇形部件与晶圆半...
冯晓敏史彦慧吴仪
文献传递
一种晶圆干燥装置
本实用新型公开了一种晶圆干燥装置，包括用于承载晶圆的旋转卡盘，所述卡盘上设有扇形区域，所述扇形区域内分布多个扇形沟槽，所述扇形沟槽内设有若干可向晶圆背面喷射干燥气体的喷射孔，每个扇形沟槽内的喷射孔独立连接供干燥气体通过的...
史彦慧冯晓敏吴仪
文献传递
晶圆干燥装置及其干燥方法
本发明公开了一种晶圆干燥装置，包括用于承载晶圆的旋转卡盘，所述卡盘上设有扇形区域，所述扇形区域内分布多个扇形沟槽，所述扇形沟槽内设有若干可向晶圆背面喷射干燥气体的喷射孔，每个扇形沟槽内的喷射孔独立连接供干燥气体通过的管道...
史彦慧冯晓敏吴仪
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清洗机摆动喷淋装置及方法
本发明涉及半导体工业领域，尤其涉及一种用于晶片清洗的清洗机摆动喷淋装置及方法。本发明提供的清洗机摆动喷淋装置包括喷淋臂、喷头和驱动装置，所述喷头与所述喷淋臂铰接形成第一铰接处，所述喷头在驱动装置控制下摆动。所述驱动装置为...
史彦慧吴仪
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一种改善晶圆腐蚀均匀性装置及方法
本发明公开了一种改善晶圆腐蚀均匀性装置及方法，包括晶圆载具，所述晶圆载具包括旋转机构及固定机构，所述晶圆载具上端承载晶圆；所述晶圆载具下端设有至少一个扇形部件，所述晶圆载具可旋转并带动晶圆或扇形部件，所述扇形部件与晶圆半...
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