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杨燕
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1
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供职机构:
中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
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合作作者
刘晓艳
中国航天科技集团公司第九研究院...
李克中
中国航天科技集团公司第九研究院...
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一种基于镍钯金镀层的金线键合互连方法
本发明公开了一种基于镍钯金镀层的金线键合互连方法,通过对材料的梯度结构设计提出了Ni/Pd/Au键合基层结构,然后采用金丝键合的办法实现大规模/超大规模集成电路高可靠互连。在不影响电路原有电性能的基础上,通过改变键合点上...
李克中
刘晓艳
施英铎
杨燕
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