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刘文耀

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇光谱
  • 3篇等离子体
  • 3篇光谱诊断
  • 3篇光学
  • 2篇等离子体光谱
  • 2篇透镜
  • 2篇凸透镜
  • 2篇平凸透镜
  • 2篇谐振腔
  • 2篇宽带
  • 2篇光学谐振腔
  • 2篇发射光谱
  • 1篇等离子体鞘层
  • 1篇双频
  • 1篇气体
  • 1篇鞘层
  • 1篇吸收光谱
  • 1篇光学诊断
  • 1篇发射光谱诊断

机构

  • 4篇大连理工大学

作者

  • 4篇刘文耀
  • 3篇刘永新
  • 3篇王友年
  • 1篇李小松
  • 1篇杜永权
  • 1篇徐勇
  • 1篇赵天亮
  • 1篇高飞
  • 1篇朱爱民

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2015
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置，属于等离子体光谱诊断领域。这种光谱诊断装置包括大功率宽带LED光源系统、光学谐振腔系统、光路调节辅助系统三个部分。宽带LED光源发出的宽带光经过凸透镜和球面反射镜聚焦和准...
刘永新刘刚虎刘文耀王友年
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置，属于等离子体光谱诊断领域。这种光谱诊断装置包括大功率宽带LED光源系统、光学谐振腔系统、光路调节辅助系统三个部分。宽带LED光源发出的宽带光经过凸透镜和球面反射镜聚焦和准...
刘永新刘刚虎刘文耀王友年
文献传递
双频容性耦合碳氟等离子体的光学诊断研究
双频容性耦合等离子体源(Dual Frequency Capacitively Coupled Plasma，DF-CCP)不但能够产生大面积均匀的等离子体，而且能够独立地控制等离子体密度以及轰击到极板上的离子能量，因此...
刘文耀
关键词：吸收光谱发射光谱光学诊断
双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断
2013年
采用相分辨发射光谱法,对双频容性耦合纯Ar和不同含O2量的Ar-O2混合气体放电等离子体的鞘层激发模式进行了探究.放电腔室耦合电源电极的鞘层区域处观察到两种电子激发模式:鞘层扩张引起的电子碰撞激发模式和二次电子引起的电子碰撞激发模式;并发现这两种激发模式均受到低频射频电源周期的调制.在纯Ar放电等离子体中,两种激发模式的激发轮廓相似;而在Ar-O2混合气放电等离子体中,随着含O2量的增加,二次电子的激发轮廓变弱.此外,利用相分辨发射光谱法对不同含O2量的Ar-O2混合气放电下Ar的750.4 nm谱线在低频周期内的平均光强随轴向分布进行了研究,得到了距耦合电源电极约3.8 mm处为双频容性耦合射频等离子体的鞘层边界.
杜永权刘文耀朱爱民李小松赵天亮刘永新高飞徐勇王友年
关键词：等离子体鞘层发射光谱
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