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刘永新

作品数：41 被引量：17H指数：3
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 29篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 5篇会议论文
  • 2篇学位论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 7篇电气工程
  • 7篇理学
  • 5篇自动化与计算...
  • 4篇文化科学

主题

  • 24篇等离子体
  • 9篇电极
  • 7篇放电
  • 6篇电源
  • 6篇均匀性
  • 6篇极板
  • 6篇光谱
  • 5篇信号
  • 4篇低气压
  • 4篇电场
  • 4篇刻蚀
  • 4篇交变电场
  • 4篇磁场
  • 3篇等离子体技术
  • 3篇低频电源
  • 3篇刻蚀工艺
  • 3篇教学
  • 3篇光谱诊断
  • 2篇倒立
  • 2篇等离子体光谱

机构

  • 41篇大连理工大学
  • 1篇辽宁科技大学
  • 1篇新疆工业高等...
  • 1篇新疆工程学院

作者

  • 41篇刘永新
  • 32篇王友年
  • 11篇赵凯
  • 7篇张莹莹
  • 4篇王晓坤
  • 4篇高飞
  • 3篇宋远红
  • 3篇刘文耀
  • 2篇李建东
  • 2篇姚志
  • 2篇庄娟
  • 2篇蒋相站
  • 2篇贾莉
  • 2篇陆文琪
  • 2篇张家良
  • 2篇荆振国
  • 2篇刘景林
  • 2篇李聪
  • 2篇滕永杰
  • 1篇李小松

传媒

  • 2篇物理学报
  • 2篇物理与工程
  • 1篇科学技术与工...

年份

  • 2篇2024
  • 3篇2022
  • 7篇2021
  • 9篇2020
  • 5篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2007
共 41 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
脉冲调制容性耦合等离子体点火相位高能电子动力学研究
与连续波(cw)射频放电相比，脉冲射频放电可以提供高度的灵活性来控制重要的等离子体参数，例如电子能量分布函数(EEDF)和通过调整脉冲频率，占空比等来实现电子密度，显示出其在改善蚀刻轮廓特征和减少等离子体引起的损伤方面的...
王祥宇刘永新王友年
关键词：脉冲点火高能电子
一种等离子气体的温度测量装置
本发明公开了一种等离子气体的温度测量装置，包括：真空腔室、光纤温度传感器、石英管、环形器、光谱仪、宽带光源和计算机；所述石英管的一端插入所述真空腔室中；所述光纤温度传感器位于所述真空腔室的等离子气体中，并固定于所述石英管...
韩道满刘永新高飞刘子耕荆振国王友年
文献传递
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置
一种用于测定等离子体中微量粒子浓度的吸收光谱装置，属于等离子体光谱诊断领域。这种光谱诊断装置包括大功率宽带LED光源系统、光学谐振腔系统、光路调节辅助系统三个部分。宽带LED光源发出的宽带光经过凸透镜和球面反射镜聚焦和准...
刘永新刘刚虎刘文耀王友年
文献传递
一种边缘等离子体分布调节装置
本发明涉及一种边缘等离子体分布调节装置，包括：射频源、卡盘、晶圆电极、接地电极、第三电极和调节电源；所述射频源加载在所述晶圆电极上；所述射频源用于在所述接地电极和所述晶圆电极之间产生射频交变电场以产生等离子体；所述接地电...
张权治马方方赵凯孙景毓刘永新王友年
低频频率和O_2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O_2放电的影响
2014年
利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显。Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低。增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移。同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子。
蒋相站张季李文亮姚洪斌刘永新刘佳
双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热研究
刘永新张权治姜巍侯璐景陆文琪王友年
关键词：发射光谱
一种等离子体产生装置
本发明涉及一种等离子体产生装置，涉及等离子体技术领域，包括第一栅极、第二栅极、磁场产生部件；第一栅极与第二栅极平行设置，且第一栅极与第二栅极之间间隔第一距离；第一距离为德拜长度量级的距离；第一栅极与电源组件连接；磁场产生...
孙景毓张权治温慧刘永新王友年
一种任意波形驱动放电控制系统
本发明提供一种任意波形驱动放电控制系统，包括：反应器、计算机、信号发生器、功率放大器和匹配网络。反应器用于维持等离子体放电；计算机，与反应器连接，用于产生第一波形数据，还用于采集反应器的电压，并判断反应器的电压中的各谐波...
赵凯刘永新张权治孙长森王友年
文献传递
一种教学用直流辉光放电探针诊断装置
本实用新型公开一种教学用直流辉光放电探针诊断装置，包括放电管、平行玻璃管、探针、波纹管、放电阴极和放电阳极，放电管垂直放置，放电管的下法兰固定在实验台上，放电管内的上极板为放电阴极，接入直流高压的放电阴极利用垂直轴与放电...
张莹莹刘永新张家良刘景林李聪宋远红
在线诊断等离子体物理特性和电学参数的方法、设备、介质及产品
本发明公开一种在线诊断等离子体物理特性和电学参数的方法、设备、介质及产品，涉及等离子体技术领域。本发明通过获取放电过程的电压信号和电流信号得到高、低频电源的电压波形和电流波形，以便得到阻抗的高、低频分量；利用构建的等效电...
赵凯冯媛周杨刘永新王友年
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