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刘凯
作品数:
1
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供职机构:
重庆光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郭亮
重庆光电技术研究所
张勇
重庆光电技术研究所
刘洪斌
重庆光电技术研究所
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重庆光电技术...
作者
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刘洪斌
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张勇
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郭亮
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刘凯
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半导体光电
年份
1篇
2006
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液相外延温控系统与真空系统的全新设计
2006年
对液相外延温控系统和真空系统进行了全新的设计,温控系统运用单相可控硅过零触发技术,解决了移相触发技术中使系统电压畸变,功率因数下降的问题。并配以日本神港程序控制器,使得温度精度达到±0.1℃,且重复性和稳定性也相应地得到提高。真空系统加入了冲洗气体保护装置,有效地解决了以往冷阱变暖使油蒸汽反流的问题。
郭亮
刘洪斌
刘凯
张勇
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温度控制
可控硅
过零触发
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