钟战天 作品数:23 被引量:14 H指数:2 供职机构: 中国科学院半导体研究所 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 一般工业技术 更多>>
迁移增强外延GaAs/Al/GaAs材料生长及其俄歇分析 1996年 在配有液N2冷却As快门的分子束外延设备中利用迁移增强外延(MEE)方法于低温下生长了GaAs/Al/GaAs结构材料。俄歇测量结果表明,用MEE方法生长的材料中Al和GaAs之间的互扩散大大减小,在500℃热处理后也没有引起多大的互扩散。我们还发现在高指数GaA5(113)B面上用MEE方法生长GaAs薄膜效果更好。 钟战天 崔玉德 曹作萍 张广泽 孙学浩 张立宝 肖君 朱勤生 邢益荣关键词:俄歇分析 砷化镓 分子束外延生长GaAs中δ掺杂研究 被引量:1 1996年 利用二次离子质谱(SIMS)和电化学剖面C-V方法研究了生长温度对GaAs中理想Siδ掺杂结构的偏离和掺杂原子电激活效率的影响。实验发现,外延生长Siδ掺杂GaAs时,随着生长温度的升高,Si掺杂分布SIMS峰非对称展宽,表面分凝作用加强,但不影响Si原子的扩散。另外,Si施主电激活效率随着生长温度的提高而增大。 钟战天 吴冰清 曹作萍 朱文珍 张广泽 张广泽 陈新 王佑祥 陈新 邢益荣关键词:分子束外延 Δ掺杂 砷化镓 GaAs/GaAlAs多量子阱反射型光调制器及自电光效应器件 被引量:2 1995年 采用分子束外延技术生长含有大周期数的GaAs/GaAlAs多量子阶(MQW)及分布布喇格反射器(DBR)的PIN结构器件。研究了量子限制斯塔克效应(QCSE),分布布喇格反射及非对称腔模(ASFP)效应对光的反射调制作用及这三种效应的兼容性对光调制及逻辑器件的重要影响。给出我们研制的反射型光调制器及自电光效应器件的实验结果。对于常通型及常闭型调制器,其两态衬比度可达10dB。所研制的SEED器件,其导通光能耗低于10fJ/(μm) ̄2,实现其光学双稳态及R-S光触发器工作。 吴荣汉 高文智 赵军 段海龙 林世鸣 钟战天 黄永箴 王启明关键词:多量子阱 光调制器 SEED 砷化镓 低阈值InGaAs-GaAs应变层多量子阱激光器 1992年 采用分子束外延(MBE)和二次液相外延技术(LPE)研制出InGaAs-CaAs折射率缓变分别限制应变层多量子阱(GRINSCH-STL-MQW)掩埋异质结(BH)激光器.在宽接触阈值电流密度1 kA/cm^2的条件下,获得了很低的阈值电流,室温时,腔面未镀膜激光器的阈值电流为5.6mA.(L=120μm,CW.20℃)激射波长为9386A左右.外微分量子效率高达每面0.48mW/mA,最高输出功率大于30mW. 肖建伟 徐俊英 杨国文 徐遵图 张敬明 陈良惠 周小川 蒋健 钟战天关键词:激光器 应变层 量子阱结构 7μmGaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器 被引量:1 1992年 利用GaAs(51(?))/Al_(0.36)Ga_(0.64)As(200(?))多量子阱结构实现了黑体辐射的探测,探测器的峰值波长为7μm,77K温度下D~*达到1.09×10~9cm·Hz^(1/2)·W^(-1),电压响应率为2.5×10~4V·W^(-1). 方晓明 黄醒良 陆卫 李言谨 沈学础 周小川 钟战天 蒋健 徐贵昌 杜全钢 牟善明 李承芳 周鼎新 于美云 余晓中关键词:多量子阱 红外探测器 Si(100)—As表面钝化作用和氧吸附 被引量:1 1990年 利用自己研制的具有分子束外延系统的表面分析联合谱仪研究了氧与Si(100)—As表面的相互作用。本文进一步证实了As层是Si表面的很好的钝化层,并首次研究了Si(100)—As表面的氧吸附全过程。实验表明,氧的饱和覆盖量为0.5单原子层,即Si表面上存在As原子层而使吸附位置减少一半。另外,通过吸附动力学分析得知,Si(100)—As表面的初始粘附系数是5.6×10^(-3),比清洁的Si(100)表面小一个数量级。Si表面上As的钝化作用是Si原子的悬挂键态被As原子的占有孤立对态代替而形成。 钟战天 王大文 范越 李承芳关键词:氧吸附 高灵敏度GaAs/AlGaAs多量子阱狭带红外探测器 1992年 在半导体超晶格研究基础上,发展了以量子阱内电子由束缚基态至势垒顶附近连续态跃迁为机理的长波长红外探测器,这也是近几年来发展的一种新型红外探测器。它具有响应速度快、量子效率高、可变波长、热稳定性和均匀性好的优点,在军事和民用上占有重要地位,已成为国际上极为重视的高技术研究的前沿课题。1985年West和Eglash首先观察到GaAs量子阱中的光跃迁现象。在1987年levine等人制造出第一个GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器,近年又制造出性能更好的探测器:工作温度77K,峰值波长为8μm,峰值探测率D_(λρ)~*=4.0×10^(10)cm、(Hz)^(1/2)/W。 钟战天 周小川 杜全钢 朱勤生关键词:半导体 红外探测器 不同状态CaAs表面上Au淀积研究 1990年 利用XPS研究了Au在不同状态GaAs表面上的淀积模式。实验结果表明,在状态不同的GaAs表面上室温淀积Au时,它以类似于Stranskl—Krastanow模式进行生长,均存在一初始覆盖层,该层中Au的覆盖度随表面Ga的含量及粗糙度的增加而增加。当衬底温度不同时,初始覆盖层中Au的覆盖度随温度升高而显著减少。 王大文 钟战天 范越 牟善明关键词:淀积 AU 覆盖层 衬底温度 粗糙度 退火温度 分子束外延生长AlGaAs/GaAs GRINSCH SQW激光器中高温陷阱的研究 1993年 应用深能级瞬态谱(DLTS)技术研究分子束外延(MBE)生长的AlGaAs/GaAs gradedindex separate confinement heterostructure single well(GRIN-SCH SQW)激光器的高温陷阱。样品的DLTS表明,在激光器的n-AlGaAs层里存在着高温(空穴、电子)陷阱,它直接影响着激光器的性能。高温空穴陷阱可能分布在x_(Al)=0.2→0.43和x_(Al)=0.43的n-AlGaAs层界面附近,而高温电子陷阱则可能分布在X_(Al)=0.43的n-AlGaAs层里X_(Al)值不连续的界面附近。高温电子陷阱的产生可能与AlGaAs层里的O有关。 卢励吾 周洁 徐俊英 钟战天关键词:分子束外延 反射电子显微技术研究分子束外延材料 被引量:1 1991年 在分析型透射电子显微镜(TEM)上,利用反射电子显微术(REM)我们系统地研完了用分子束外延法生长的AlGaAs/GaAs异质多层材料及应变InGaAs/GaAs超晶格材料。在对AlGaAs/GaAs超晶格截面的观察中,REM的空间分辨率达到了20(?),并可分辨化学组分变化0.5%的AlGaAs/GaAs异质结界面。在对表面形貌的研究中,REM可观察到用Nomarski相衬显微镜都无法观察到的InGaAs/GaAs应变超晶格表面crosshatch条纹,显示其对表面不平整性的极高灵敏度。我们还发展了一种新方法,用以准确、直观地观察多层膜材料的腐蚀深度,从而控制器件制作过程中的腐蚀工艺。 周小川 都安彦 彭练茅 蒋健 牟善明 张开颜 钟战天关键词:分子束外延 电子显微镜 半导体材料