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赵桂娟
作品数:
28
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杨少延
中国科学院半导体研究所
王占国
中国科学院半导体研究所
魏鸿源
中国科学院半导体研究所
汪连山
中国科学院半导体研究所
刘祥林
中国科学院半导体研究所
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28篇
中文专利
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5篇
电子电信
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发光
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氮化镓
8篇
非极性
7篇
衬底
6篇
氮化
6篇
氮化镓基发光...
6篇
多量子阱
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二极管
6篇
发光二极管
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蓝宝石
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蓝宝石衬底
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气相外延
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晶体
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机构
28篇
中国科学院
作者
28篇
王占国
28篇
杨少延
28篇
赵桂娟
24篇
魏鸿源
19篇
汪连山
16篇
刘祥林
12篇
焦春美
12篇
李辉杰
7篇
王建霞
7篇
朱勤生
6篇
桑玲
6篇
冯玉霞
5篇
刘长波
5篇
张恒
4篇
李志伟
3篇
李成明
3篇
刘贵鹏
2篇
项若飞
2篇
韩东岳
2篇
谭晓宇
年份
1篇
2022
1篇
2021
3篇
2019
1篇
2018
3篇
2017
5篇
2016
5篇
2015
4篇
2014
1篇
2013
4篇
2012
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利用蓝宝石衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管的方法
一种利用蓝宝石衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管的方法,包含:在蓝宝石衬底表面上先制备一包含铟组分的薄III族氮化物合金层和一低温薄氮化镓层的应力调控结构层;将蓝宝石硅衬底加热温度升高;制备一氮化镓基发光二极管器件结构层...
杨少延
张恒
魏鸿源
焦春美
赵桂娟
汪连山
刘祥林
王占国
文献传递
制备非极性面或半极性面单晶半导体自支撑衬底的方法
一种制备非极性面或半极性面单晶半导体自支撑衬底的方法,包括:取一衬底;在衬底上生长一层氧化锌结晶层做为牺牲层;在氧化锌结晶层上低温生长一层半导体支撑层;在半导体支撑层的表面生长半导体单晶外延层,在生长过程中,使氧化锌结晶...
张恒
魏鸿源
杨少延
赵桂娟
金东东
王建霞
李辉杰
刘祥林
王占国
文献传递
AlN单晶衬底生产设备及其使用方法
一种AlN单晶衬底生产设备及其使用方法,其主体是一耐高温坩埚,坩埚分为两个部分:晶体生长室和原料室。晶体生长室侧壁有一氨气或氮气或二者混合气体的气管,与之相对位置有一气体出口;衬底固定于反应室的顶部;原料室底部有一载气气...
李辉杰
杨少延
魏鸿源
赵桂娟
汪连山
李成明
刘祥林
王占国
文献传递
利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管器件的方法
一种利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管器件的方法,包含:在硅衬底表面上先制备一阻挡层及包含铟组分的薄III族氮化物合金层和低温薄氮化镓层的应力调控结构层;将硅衬底加热,将包含有铟组分的薄III族氮化物合金层中的铟组...
杨少延
冯玉霞
魏鸿源
焦春美
赵桂娟
汪连山
刘祥林
王占国
文献传递
利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管器件的方法
一种利用硅衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管器件的方法,包含:在硅衬底表面上先制备一阻挡层及包含铟组分的薄III族氮化物合金层和低温薄氮化镓层的应力调控结构层;将硅衬底加热,将包含有铟组分的薄III族氮化物合金层中的铟组...
杨少延
冯玉霞
魏鸿源
焦春美
赵桂娟
汪连山
刘祥林
王占国
文献传递
AlN基板高效散热HEMT器件及其制备方法
本公开提供了一种AlN基板高效散热HEMT器件,自下而上包括:AlN陶瓷基板、AlN成核层、AlN高阻层、GaN或In<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1‑x</Sub>N沟道层、Al<Sub>y</Sub>In<S...
汪连山
吉泽生
赵桂娟
孟钰淋
李方政
杨少延
王占国
文献传递
一种AlGaN/h-BN多量子阱结构的深紫外LED及其制备方法
本发明公开了一种AlGaN/h‑BN多量子阱结构的深紫外LED,自下而上依次包括:衬底、AlN模板层、n型Al<Sub>x</Sub>Ga<Sub>1‑x</Sub>N层、Al<Sub>y</Sub>Ga<Sub>1‑y...
汪连山
李方政
赵桂娟
孟钰琳
杨少延
魏鸿源
王占国
文献传递
半极性面氮化镓基发光二极管及其制备方法
本发明提供一种半极性面氮化镓基发光二极管及其制备方法,其中发光二极管包括:一衬底,其表面具有周期排列的凸起图形;一氮化铝缓冲层沉积在凸起图形之间的间隔区内;一未掺杂半极性面氮化镓层,其制作在氮化铝缓冲层的上面,该未掺杂半...
项若飞
汪连山
赵桂娟
金东东
王建霞
李辉杰
张恒
冯玉霞
焦春美
魏鸿源
杨少延
王占国
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制备非极性A面GaN薄膜的方法
本发明提供了一种制备非极性GaN薄膜的方法。该方法包括:在衬底表面制备A面ZnO缓冲薄膜;在制备的A面ZnO缓冲薄膜上制备非极性GaN薄膜。本发明中,ZnO缓冲层能够协调GaN和衬底之间的晶格失配和热失配,从而极大的提高...
刘建明
桑玲
赵桂娟
刘长波
王建霞
魏鸿源
焦春美
刘祥林
杨少延
王占国
文献传递
一种HEMT外延结构及制备方法
本发明公开了一种HEMT外延结构,其结构是:衬底(10)、低温GaN缓冲层(20)、未掺杂GaN高阻层(30)、AlN隔离层(40)、未掺杂GaN沟道层(50)、Al组分阶梯变化的势垒层(60)、AlN势垒层(70)。将...
吉泽生
汪连山
赵桂娟
孟钰淋
李辉杰
谭晓宇
韩东岳
杨少延
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