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赵晖

作品数：11 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇中文专利

主题

  • 6篇电极
  • 5篇微机械谐振器
  • 5篇谐振器
  • 5篇锚点
  • 4篇频率可调
  • 4篇可调
  • 3篇质心
  • 3篇品质因子
  • 2篇多边形
  • 2篇多模式
  • 2篇圆片
  • 2篇振荡器
  • 2篇正反馈
  • 2篇射频
  • 2篇射频前端
  • 2篇收发
  • 2篇收发系统
  • 2篇输出缓冲器
  • 2篇匹配网络
  • 2篇阻抗匹配

机构

  • 11篇中国科学院

作者

  • 11篇杨富华
  • 11篇杨晋玲
  • 11篇赵晖
  • 10篇骆伟
  • 6篇袁泉

年份

  • 1篇2018
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 4篇2013
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
频率可切换的微机械谐振器
一种频率可切换的MEMS谐振器，包括：一中柱；一圆盘可动结构，该圆盘可动结构由连接至质心的中柱来支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于圆盘可动结构的周围；空气或固体间隙位于该圆盘可动结构和各驱动/检测电极之间。本发明通...
赵晖杨晋玲骆伟杨富华
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一种频率可切换的微机械谐振器及其制备方法
本发明公开了一种频率可切换的微机械谐振器及其制作方法。所述谐振腔包括：中柱；可动结构，其由连接至其质心的中柱支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于可动结构的周围；空气或固体间隙，位于所述可动结构和各驱动/检测电极之间。...
赵晖杨晋玲杨富华
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MEMS振荡器
一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络...
赵晖杨晋玲骆伟杨富华
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一种微机械谐振器及其制作方法
本发明公开了一种微机械谐振器及其制作方法，该微机械谐振器由谐振器晶片和封装盖片键合密封而成；谐振器晶片上包括输入电极、输出电极、偏置电极、谐振单元、支撑结构；谐振器结构周围大面积接地孔减小了馈通信号；谐振器周围的微型加热...
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频率可切换的微机械谐振器
一种频率可切换的MEMS谐振器，包括：一中柱；一圆盘可动结构，该圆盘可动结构由连接至质心的中柱来支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于圆盘可动结构的周围；空气或固体间隙位于该圆盘可动结构和各驱动/检测电极之间。本发明通...
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频率可调的MEMS滤波器
一种频率可调的MEMS滤波器，包括：多个谐振单元，该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑；多个耦合梁，该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元；多个电极，该多个电极位于谐振单元的周围，与谐振单元之间有一间隙。...
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频率可调的MEMS谐振器
一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各...
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频率可调的MEMS谐振器
一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各...
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频率可调的MEMS滤波器
一种频率可调的MEMS滤波器，包括：多个谐振单元，该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑；多个耦合梁，该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元；多个电极，该多个电极位于谐振单元的周围，与谐振单元之间有一间隙。...
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MEMS振荡器
一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络...
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