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杨晋玲

作品数：107 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 102篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 24篇电子电信
  • 9篇自动化与计算...
  • 5篇文化科学
  • 3篇机械工程
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇医药卫生

主题

  • 27篇谐振器
  • 15篇圆片
  • 13篇电极
  • 13篇封装
  • 12篇圆片级
  • 12篇模态
  • 12篇传感
  • 9篇淀积
  • 9篇谐振
  • 9篇谐振结构
  • 9篇键合
  • 9篇感器
  • 9篇传感器
  • 8篇锚点
  • 8篇光刻
  • 7篇动态电阻
  • 7篇射频
  • 7篇高灵敏
  • 6篇电池
  • 6篇电化学腐蚀

机构

  • 107篇中国科学院
  • 3篇中国科学院大...
  • 2篇北京信息科技...
  • 2篇天津市肿瘤研...
  • 1篇中国航空工业...
  • 1篇中国空空导弹...

作者

  • 107篇杨晋玲
  • 93篇杨富华
  • 32篇袁泉
  • 30篇朱银芳
  • 13篇张金英
  • 12篇毛旭
  • 11篇赵晖
  • 10篇魏伟伟
  • 10篇骆伟
  • 8篇解婧
  • 7篇王晶晶
  • 6篇刘云飞
  • 4篇周威
  • 4篇王帅鹏
  • 4篇何欢
  • 3篇唐龙娟
  • 3篇周美强
  • 2篇吴根水
  • 2篇郑海洋
  • 2篇方志强

传媒

  • 1篇电子世界
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇航空兵器
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 6篇2024
  • 10篇2023
  • 1篇2022
  • 18篇2021
  • 11篇2020
  • 4篇2019
  • 4篇2018
  • 4篇2017
  • 7篇2016
  • 9篇2015
  • 8篇2014
  • 5篇2013
  • 9篇2012
  • 4篇2011
  • 6篇2010
  • 1篇2009
共 107 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
变形镜
一种变形镜，该变形镜包括：镜面，适用于反射照射到镜面上的光束；位移驱动模块，与镜面固定连接，适用于基于镜面的柔性驱动镜面在多个部位中的至少一个部位产生轴向方向的变形；以及偏转驱动模块，该偏转驱动模块包括：第一基座，位移驱...
李金潮杨晋玲
一种挡光式微机电可变光衰减器
本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括：输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS...
毛旭吕兴东魏伟伟杨晋玲杨富华
文献传递
一种变形镜
本公开提供一种变形镜，包括基座9、驱动机构、镜面1，驱动机构包括多个驱动柱13，多个所述驱动柱13呈阵列化排布于所述基座9上，并且每一所述驱动柱13的底部与所述基座9进行紧配；所述镜面1上下表面镀有反射膜，所述镜面1的下...
李金潮杨晋玲
用于谐振式微纳生化器件的集成系统
一种用于谐振式微纳生化器件的集成系统，包括：一固定支架；一底板，其制作在固定支架的上面的中间；一盖片，其中间的一侧开有凹槽，便于固定压制微纳生化器件，该盖片位于底板的一侧；一顶板，其制作在盖片的上面；该盖片和顶板的上面开...
杨晋玲王栎皓廖驹张金英朱银芳杨富华
文献传递
谐振式MEMS生物传感器系统检测电路设计被引量：1
2020年
文中提出了一种基于MEMS悬臂梁的生物检测系统。针对多通道MEMS悬臂梁阵列传感芯片响应迅速、灵敏度高、输出信号微弱等特点,设计了基于两级放大电路、锁相环及等精度计数的低噪声、高稳定性的信号处理与频率检测电路;构建了基于蠕动泵、气泵与MCU控制电路的微流体驱动控制系统,该系统具有体积小、精度高、功耗低等特点。测试结果表明,该生物检测系统对生物样品检测具有良好的准确性和重复性,开环测试误差小于±0.3 Hz,闭环误差小于±0.002 Hz,微流体控制精度最小可达0.247μL。
金庚王栎皓朱银芳刘晓晨赵俊元郭阳宽郭阳宽
关键词：生物传感器
一种微机械谐振器的制备方法
本发明提供一种微机械谐振器的制备方法，其包括以下步骤：获取衬底结构，所述衬底结构形成有谐振部以及处于所述谐振部两侧且呈间隔设置的两个电极部；在所述衬底结构上生长牺牲层并图形化，呈部分显露所述谐振部以及所述两个所述电极部设...
杨晋玲逯玉洁朱银芳刘文立杨富华
文献传递
微纳射频器件及其制备方法
一种微纳射频器件及制备方法，方法包括：在SOI片上生长隔离层；图形化隔离层，以在SOI片上形成谐振单元、电极引线、信号屏蔽层及封装环；在谐振单元的侧壁生长微纳级间隔层；去除电极引线、信号屏蔽层及封装环表面的隔离层，在SO...
陈泽基杨晋玲袁泉刘文立杨富华
文献传递
一种超高真空多功能综合测试系统
本发明公开了一种用于微纳器件表面处理、表面修饰、原位表征的超高真空多功能综合测试系统，包括：第一超高真空室；第二超高真空室，该第二超高真空室与第一超高真空室真空密封连接；常压室，该常压室与第二超高真空室真空密封连接；以及...
杨晋玲刘云飞解婧杨富华
文献传递
频率可切换的微机械谐振器
一种频率可切换的MEMS谐振器，包括：一中柱；一圆盘可动结构，该圆盘可动结构由连接至质心的中柱来支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于圆盘可动结构的周围；空气或固体间隙位于该圆盘可动结构和各驱动/检测电极之间。本发明通...
赵晖杨晋玲骆伟杨富华
文献传递
阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器
本发明公开了一种阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器，包括：配置为工作在平面剪切模态下的谐振单元，该谐振单元的顶角处的振动幅度最大，且边缘处具有位移节点，与配置为工作在长度拉伸模态的耦合梁，共同组成阵列式谐振结构；支撑梁...
陈泽基阚枭王天昀袁泉杨晋玲杨富华
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