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尚东
作品数:
2
被引量:32
H指数:1
供职机构:
四川大学物理科学与技术学院
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
林理彬
四川大学物理科学与技术学院
何捷
四川大学物理科学与技术学院
卢勇
四川大学物理科学与技术学院
王静
四川大学物理科学与技术学院
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四川大学学报...
年份
2篇
2005
共
2
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特型二氧化钒薄膜的制备及电阻温度系数的研究
被引量:32
2005年
采用真空蒸发真空退火的制备工艺,制备出了特定的VO2(B)型薄膜并给出了最佳制备条件,经X射线衍射(XRD)分析及电学参数测试,其电阻温度系数(TCR)值达到-3.4×10-2K-1,无相变和热滞现象.作者还讨论了薄膜电阻温度关系,及其电阻温度系数与晶粒大小、激活能等的关系.
尚东
林理彬
何捷
王静
卢勇
关键词:
真空退火
适用于非制冷红外探测器的氧化钒薄膜制备及电学性质研究
本论文针对非制冷红外探测器开展了红外热敏薄膜制备及电学性质研究,采用真空蒸发—真空还原法制备氧化钒薄膜,结合相关理论制定了一系列实验,通过该种工艺,制备出纯度较高、结晶度好的几种主要的钒的氧化物(V2O5、VO2(B)、...
尚东
关键词:
氧化钒薄膜
红外探测器
电阻温度系数
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