陈义华
- 作品数：7 被引量：22H指数：3
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：福建省科技计划重点项目福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程航空宇航科学技术电子电信机械工程更多>>
- 表面微加工中镍的微电铸
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点。搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比。利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组...
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 文献传递
- 基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计
- 2006年
- 在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。
- 王凌云陈义华孙道恒
- 关键词：可靠性陀螺仪平板电极
- 基于MEMS技术的微型惯性测量组合被引量：9
- 2005年
- 叙述了基于MEMS技术的微型惯性测量组合(MIMU)在国内外的发展状况及其应用,简要阐述了MIMU的基本原理和结构并对其优缺点进行了分析,同时也对其发展作了总结与展望。
- 陈义华王凌云孙道恒
- 关键词：惯性导航微机电系统
- 表面微加工中镍的微电铸被引量：1
- 2005年
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 基于加速度传感器的定位系统研究
- 随着微机电技术的发展，微型惯性测量组合(MIMU：Micro-inertialmeasurementunit)已经显现出了其优异的性能，而加速度测量在微惯性测量组合中具有极其重要的作用。通过加速度计可以得到载体的运动速度...
- 陈义华
- 关键词：微机电系统加速度传感器加速度计
- 文献传递
- 表面微加工中镍的微电铸
- 本文介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了...
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸镍电解液
- 文献传递
- 微电铸及其在MEMS中的应用被引量：6
- 2005年
- 研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出TiCu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等,得到了一组比较有价值的电铸参数,并对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸镍电解液悬臂梁微机械晶种方波
