吕文龙
- 作品数：31 被引量：31H指数：3
- 供职机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金福建省自然科学基金福建省科技计划重点项目更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 一种薄膜晶体管及其制备方法
- 本发明提供了一种薄膜晶体管，包括自下到上依次设置的栅极、绝缘层和有源层；所述有源层上设置有源电极和漏电极；所述有源层包括在绝缘层表面依次交替层叠排列的氧化铟层和氧化钛层。本发明通过将有源层设置为交替层叠排列的氧化铟层和氧...
- 蒋书森张玉龙吕文龙崔景芹
- 一种氮化铝-氧化铝薄膜及其制备方法和应用
- 本发明提供了一种氮化铝‑氧化铝薄膜及其制备方法和应用，属于电子器件技术领域。本发明提供的氮化铝‑氧化铝薄膜的制备方法先将衬底升温至150～350℃，得到待沉积硅衬底；在真空条件下，向原子层沉积室通入三甲基铝气流，得到第一...
- 蒋书森吕文龙
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- 可起停控制的电纺直写喷头
- 可起停控制的电纺直写喷头，涉及一种电纺直写喷头。提供一种可自动起停控制、降低喷射开启电压、实现喷射与直写图案特征有机结合、完成复杂图案微纳米结构直写的可起停控制的电纺直写喷头。设带喷头空心套管、带螺纹调节塞、线圈、衔铁、...
- 王凌云孙道恒杜江吴德志吕文龙刘益芳
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- 一种微器件的真空封装方法
- 一种微器件的真空封装方法，涉及一种微器件的封装方法。采用微加工工艺在下硅片上加工硅岛、可动结构及附属金属电极和引线；采用湿法腐蚀法在上硅片正面加工出梯形通孔，在上硅片背面加工出微流道；采用硅-玻璃阳极键合技术将上硅片与玻...
- 王凌云吕文龙杜晓辉苏源哲占瞻左文佳孙道恒
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- 表面微加工中镍的微电铸
- 本文介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了...
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸镍电解液
- 文献传递
- 硅金键合方法
- 硅金键合方法，涉及一种硅金键合方法。提供一种可提高硅金键合晶片的键合品质，基于硅基多孔氧化铝的新型MEMS器件硅金键合方法。步骤为采用两步恒压阳极氧化法制备硅基多孔氧化铝薄膜：用电子束蒸发方法在硅片上制备一层厚度1.0～...
- 孙道恒吕文龙王凌云刘益芳吴德志
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- 变截面梁的微电镀研究
- 2005年
- 介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.
- 刘益芳吕文龙孙道恒
- 关键词：悬臂梁变截面一致性
- 表面微加工中镍的微电铸被引量：1
- 2005年
- 介绍了微电铸工艺的基本原理以及脉冲电铸的特点.搭键了电铸实验系统,通过对Watts镍电解液的成分实验得到了一种性能较好的成分配比.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等MEMS结构,得到了一组较有价值的电铸参数,对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.
- 吕文龙陈义华孙道恒
- 关键词：微电铸脉冲镍
- 一种电烙铁智能调温断电保护装置
- 一种电烙铁智能调温断电保护装置，涉及一种电烙铁。设有控制模块、传感器、显示模块、蜂鸣器、开关按钮和功率及温度控制模块；所述传感器的输出端接控制模块的输入端，开关按钮与控制模块连接，控制模块的输出端分别与显示模块的输入端、...
- 王凌云杜晓辉左文佳占瞻苏源哲吕文龙孙道恒
- 文献传递
- 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法
- 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法，涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅/第1玻璃组合片；采用磁控溅射法在硅/第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅/第1玻璃组合片...
- 吕文龙占瞻左文佳杜晓辉苏源哲王凌云孙道恒
- 文献传递
