谢廉忠 作品数:32 被引量:73 H指数:5 供职机构: 中国电子科技集团第十四研究所 更多>> 发文基金: 中国人民解放军总装备部预研基金 更多>> 相关领域: 电子电信 化学工程 一般工业技术 电气工程 更多>>
基于钙硼硅系LTCC生瓷带微波基板制造技术 被引量:2 2015年 低温共烧陶瓷(LTCC)技术可以实现真正意义上的三维微波互连基板,已经成为实现机载、星载、舰载相控阵雷达收/发组件小型化、轻量化、高性能、高可靠和低成本的理想方法之一。文中对基于国产钙硼硅系LTCC生瓷带微波基板制造技术进行了深入研究,剖析了影响基板外形尺寸和腔体翘曲度的工艺因素,提出了相应的解决方法。 谢廉忠 严伟 房迅雷关键词:LTCC 相控阵雷达 基于LTCC基板的薄膜微带线制作技术 本文对厚、薄膜多层互连基板的发展进行了简单的分析,对基于LTCC基板的薄膜50Ω微带线的设计、制造、测试进行了介绍.结果表明LTCC基板表面实施薄膜工艺与厚膜工艺相比有利于获得更好的微波一致性. 刘刚 王丛香 谢廉忠 张爱华文献传递 烧结升温速率对低温共烧陶瓷基板性能的影响 被引量:3 2022年 烧结是低温共烧陶瓷(LTCC)基板工艺中关键工序之一,对LTCC基板的各项性能指标具有重要的影响。本文以国产MG60生瓷带为研究对象,研究了不同烧结升温速率对LTCC基板介电性能、翘曲度、膜层附着力、抗折强度等性能指标的影响,分析了基板性能变化的原因。结果表明,当升温速率为8℃/min时,基板介电常数为5.788,介电损耗为8.21×10^(-4),基本无翘曲,烧结致密,附着力强,抗折强度达到175 MPa。 侯清健 游韬 王子鸣 谢廉忠关键词:低温共烧陶瓷 升温速率 介电性能 翘曲度 附着力 抗折强度 基于LTCC腔体技术的三维多芯片组件的设计与制作 本文介绍了采用LTCC腔体结构的数据存储模块设计和制作工艺,并针对设计过程中的结构设计、电磁兼容设计、热设计以及制作过程中的带腔LTCC基板制作、焊接凸点制作、基板精确对位、焊料梯度的选择、气密性封装等关键技术提出了相应... 侯清健 郑伟 谢廉忠关键词:LTCC 腔体 三维多芯片组件 微波组件用带腔体LTCC基板制造技术 被引量:27 2006年 机载、星载、舰载相控阵雷达由于其特定的使用环境,需要体积小、重量轻、高性能、高可靠、低成本的微波组件,带腔体LTCC基板具有高密度布线、电阻、电容、电感的内埋以及芯片的埋置等特性,是制作机载、星载、舰载相控阵雷达微波组件的理想的高密度基板。该文介绍了带腔体LTCC集成基板的制造技术,并对微带线、带状线、内埋电阻、腔体等关键技术进行了分析,提出了相应的解决方法。 谢廉忠关键词:相控阵雷达 微波组件 腔体 适于薄膜布线工艺的低温共烧陶瓷基板研究 被引量:3 2012年 基于LTCC厚薄膜混合基板的MCM-C/D多芯片组件技术,对LTCC技术和薄膜技术进行优势互补,兼具LTCC技术和薄膜技术的优点,可满足电子整机高频、宽带的应用需求。为了制备满足薄膜工艺布线的LTCC多层基板,研究了层压压力和烧结温度对A6-M LTCC多层基板致密性的影响。研究结果表明,层压压力对致密性的影响不明显,而烧结温度对LTCC的致密性有明显的影响。875℃烧结的基板试样的致密性最好,烧结温度较低,基板表现为欠烧,烧结温度过高,则表现为过烧结。按照优化工艺制备的LTCC基板,抛光后粗糙度Ra值达到10~15nm,可初步满足薄膜工艺布线的要求,基板表面薄膜工艺单层布线的最小线宽线间距为20微米。 吕安国 王从香 谢廉忠关键词:LTCC 致密性 粗糙度 LTCC埋置电阻器制造工艺研究 本文介绍了用于X波段T/R组件中的低温共烧陶瓷埋置电阻器的制造工艺.讨论了低温共烧陶瓷工艺参数对电阻性能的影响. 谢廉忠 周勤关键词:埋置电阻器 低温共烧陶瓷 文献传递 LTCC微波多层互连基板制造工艺研究 介绍用于X波段的T/R组件的LTCC微波多层互连基板制造工艺.讨论LTCC工艺参数对基板高频性能的影响. 周勤 谢廉忠关键词:LTCC 微波 基板 微波电路 文献传递 用于微波组件的LTCC 3 dB耦合器 被引量:2 2008年 低温共烧陶瓷(LTCC)技术是实现机载、星载、舰载相控阵雷达小型化、轻量化、高性能、高可靠、低成本的有效手段。文中论述了LTCC技术在微波集成器件应用中所具有的技术优势,并介绍了用于微波组件的LTCC 3dB耦合器的构成、关键制造工艺技术以及性能参数等,为LTCC技术在微波集成器件中的应用进行了有益的探索。 谢廉忠 符鹏关键词:微波组件 耦合器 低温共烧陶瓷 国产LTCC材料微波基板特性分析 被引量:1 2022年 为了探究国产低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)材料的工程应用前景,促进LTCC材料国产化进程,文中从工程应用的角度出发,使用国产LTCC材料制作了微波基板并进行了相应的测试和研究。研究内容主要包括国产LTCC材料的匹配性能以及基于国产LTCC材料的微波基板的性能和可靠性。研究结果表明,国产LTCC材料的匹配性能满足要求,基于国产LTCC材料研制的微波基板的性能和可靠性与基于进口LTCC材料研制的微波基板相当,满足X波段T/R组件技术要求。 谢廉忠 游韬 王锋关键词:低温共烧陶瓷 国产化 匹配性