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何伟宏
作品数:
4
被引量:4
H指数:1
供职机构:
广东工业大学
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发文基金:
广东省高等学校科技创新团队项目
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
高健
广东工业大学
刘冠峰
广东工业大学
陈新
广东工业大学
李泽湘
广东工业大学
姜永军
广东工业大学
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微电子制造
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机构
4篇
广东工业大学
作者
4篇
何伟宏
3篇
高健
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杨志军
2篇
吴小洪
2篇
姜永军
2篇
李泽湘
2篇
陈新
2篇
刘冠峰
传媒
1篇
机械设计与制...
年份
1篇
2017
2篇
2014
1篇
2013
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4
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一种宏微复合运动的动态切换方法
本发明公开了本发明提出的一种宏微复合运动的动态切换方法。即在宏平台接近终点进行减速的过程,即提前启动微平台,通过微平台实现精密定位,同时宏、微平台也达到稳定。该方法将根据宏、微平台的结构及动态特性,确定切换的振幅阈值,并...
高健
何伟宏
姜永军
杨志军
吴小洪
陈新
刘冠峰
李泽湘
文献传递
基于柔性铰链的微动平台设计与运动仿真
随着运动执行机构不断向高速、大行程、纳米级精度的方向发展,精密运动平台的研究已倍受研究人员的关注。本论文面向微电子装备的高速、大行程、高精度运动的需求,开展宏微复合运动平台的关键技术研究,通过基于柔性铰链设计理论的微平台...
何伟宏
关键词:
微电子制造
运动仿真
柔性铰链
文献传递
柔性铰链的微动平台设计
被引量:4
2014年
根据高性能直线电机直接驱动宏动平台和宏/微双重驱动精密定位机构的要求,基于柔性铰链设计微动平台,实现大行程纳米级别的分辨率和定位精度;微动平台采用压电陶瓷驱动,安装于宏动平台上;整个宏/微系统采用精密绝对光栅和精密增量光栅二级位置检测以解决大行程和高分辨在检测上的矛盾问题,以此为位置反馈实现闭环控制。在平台结构设计的基础上建立系统质量刚度动力学模型,分析平台在阻尼垫块不同的情况的稳定性能。
何伟宏
高健
关键词:
柔性铰链
动力学仿真
一种宏微复合运动的动态切换方法
本发明公开了本发明提出的一种宏微复合运动的动态切换方法。即在宏平台接近终点进行减速的过程,即提前启动微平台,通过微平台实现精密定位,同时宏、微平台也达到稳定。该方法将根据宏、微平台的结构及动态特性,确定切换的振幅阈值,并...
高健
何伟宏
姜永军
杨志军
吴小洪
陈新
刘冠峰
李泽湘
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