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文献类型

  • 16篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 13篇量子级联
  • 13篇波导
  • 11篇激光
  • 11篇激光器
  • 9篇量子级联激光...
  • 6篇发散角
  • 6篇衬底
  • 4篇阵列器件
  • 4篇上光
  • 4篇面发射
  • 4篇光栅
  • 4篇波导结
  • 4篇波导结构
  • 3篇电隔离
  • 3篇金属
  • 3篇脊型波导
  • 3篇盖层
  • 2篇等离子体
  • 2篇等离子体波
  • 2篇电极

机构

  • 16篇中国科学院

作者

  • 16篇刘峰奇
  • 16篇王占国
  • 16篇王利军
  • 16篇闫方亮
  • 16篇张锦川
  • 12篇刘俊岐
  • 4篇卓宁
  • 2篇梁平
  • 2篇胡颖
  • 2篇贾志伟
  • 2篇谭松

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 4篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
16 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构
本发明公开了一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构,其包括:衬底,其上制作有双沟道脊型波导结构,脊型区中设有激光器有源区;光栅层,制作在衬底上表面;电隔离层,制作在光栅层上表面,在光栅层与脊型区对应的上表面处断...
姚丹阳张锦川周予虹贾志伟闫方亮王利军刘俊岐刘峰奇王占国
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一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构
本发明公开了一种改善面发射半导体激光器慢轴远场的金属天线结构,其包括:衬底,其上制作有双沟道脊型波导结构,脊型区中设有激光器有源区;光栅层,制作在衬底上表面;电隔离层,制作在光栅层上表面,在光栅层与脊型区对应的上表面处断...
姚丹阳张锦川周予虹贾志伟闫方亮王利军刘俊岐刘峰奇王占国
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一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件
本发明公开了一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件,包括:衬底;衬底上表面依次生长的下波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、盖层以及高掺层;阵列器件,其包含多个DFB激光器单元,每个DFB激光器单元具有脊型波导...
闫方亮张锦川姚丹阳卓宁王利军刘峰奇王占国
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一种低发散角的面发射量子级联激光器结构
本发明公开了一种低发散角的面发射量子级联激光器结构,其包括:衬底;下波导层,该下波导层生长在该衬底正面;下光限制层,该下光限制层生长在下波导层上;有源区,该有源区生长在下光限制层上;上光限制层,该上光限制层生长在该有源区...
张锦川姚丹阳闫方亮刘峰奇王利军刘俊岐王占国
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可调谐分布反馈量子级联激光器阵列器件及其制备方法
本发明公开了一种可调谐分布反馈量子级联激光器阵列器件及其制备方法。所述阵列器件包括:在衬底上依次生长的下波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、梯度掺杂盖层和高掺层;阵列器件,其包含多个DFB激光器,每个DFB激光...
闫方亮张锦川姚丹阳谭松王利军刘峰奇王占国
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一种低发散角分布反馈量子级联激光器结构及制作方法
本发明公开了一种低发散角分布反馈量子级联激光器结构及其制作方法。该结构包括:衬底、下波导层、下光限制层,该下光限制层生长在下波导层上、有源区、上光限制层、光栅层、上波导层,该上波导层生长在该光栅层上、多孔区、二氧化硅层、...
张锦川刘峰奇闫方亮姚丹阳王利军刘俊岐王占国
双全息曝光制备量子级联激光器掩埋双周期光栅方法
一种采用双全息曝光制备量子级联激光器掩埋双周期光栅方法,包括如下步骤:步骤1:在半导体衬底上依次外延生长下波导层、下光限制层、激光器有源区和上光限制层,获得有光限制层结构的量子级联激光器外延芯片;步骤2:对外延芯片进行清...
姚丹阳张锦川闫方亮刘俊岐王利军刘峰奇王占国
一种双面散热量子级联激光器器件结构
本发明公开了一种双面散热量子级联激光器器件结构,包括:衬底;有源区,其均匀生长在衬底的上表面;上波导,其均匀生长在有源区的上表面;正面金属电极层,其均匀生长在上波导上表面;热沉,其与器件的上波导层通过所述正面金属电极层键...
闫方亮张锦川刘峰奇卓宁刘俊岐王利军王占国
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一种低发散角的面发射量子级联激光器结构
本发明公开了一种低发散角的面发射量子级联激光器结构,其包括:衬底;下波导层,该下波导层生长在该衬底正面;下光限制层,该下光限制层生长在下波导层上;有源区,该有源区生长在下光限制层上;上光限制层,该上光限制层生长在该有源区...
张锦川姚丹阳闫方亮刘峰奇王利军刘俊岐王占国
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一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件
本发明公开了一种可调谐衬底发射量子级联激光器阵列器件,包括:衬底;衬底上表面依次生长的下波导层、下限制层、有源区、上限制层、上波导层、盖层以及高掺层;阵列器件,其包含多个DFB激光器单元,每个DFB激光器单元具有脊型波导...
闫方亮张锦川姚丹阳卓宁王利军刘峰奇王占国
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