许宇庆 作品数:24 被引量:38 H指数:5 供职机构: 浙江大学物理系物理学系 更多>> 发文基金: 浙江省自然科学基金 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 理学 化学工程 电子电信 一般工业技术 更多>>
热化学气相合成法制备的超细碳化硅粉末的显微结构 被引量:5 1992年 在高分辨电镜观察的基础上,描述了用热化学气相合成法制备的超细 SiC 粉末的组织结构,其颗粒的最外层是暴露于大气后形成的吸附层,次外层是非晶的 SiC,内部是β型 SiC 微晶,微晶组态往往呈环状排布,微晶间易形成孪晶界,也会形成多次微孪晶。颗粒中还保留了非晶和微晶的中间态,在高分辨电镜中表现为旋涡状 SiC 晶格条纹。用高分辨电镜还观察到了 Si 晶体的碳化和 SiC 在 Si 晶体上的外延生长。 王幼文 许宇庆 姚鸿年关键词:碳化硅 气相合成 热化学 陶瓷 PZT多层薄膜物性的研究 被引量:1 1996年 对磁控溅射PZT铁电多层薄膜进行了分析,结果表明:通过对多层薄膜合理的设计和厚度控制,可以改善薄膜的性能,为进一步的器件应用提供了可能性。通过研究发现。制备多层膜较理想的溅射条件是衬底温度Ts=650℃,薄膜子层厚度约为300um,衬底则以MgO(100)单晶、SiO2(100)单晶为佳。结构分析的结果显示出:PZT多层铁电膜中的晶粒排列整齐,颗粒大小均匀,基本上和衬底成定向织构,膜的电畴呈180°。通过比较可以发现,子层厚度及总厚度超薄,膜的介电常数越大,弛豫频率也越高。但薄膜总厚度对多层膜的绝缘性能影响不大,这说明薄膜的绝缘性质主要是由金属-铁电薄膜的界面决定的。在不同的电压下,多层膜的传导性能影响肖特基势垒的穿透和Fowler-Nordheim隧穿。 陶向明 谭明秋 许宇庆 张其瑞关键词:铁电 锆钛酸铅 化学汽相沉积法生长微晶过程中的旋涡现象 1992年 本文报道了用高分辨电子显微术(HREM)观察辉光放电汽相淀积制备的Si:H薄膜,和热化学气相合成法制备的超细SiC粉末时发现的原子密排面呈旋涡状排列的旋涡现象,描述了这种旋涡现象的结构特点,分析了旋涡结构的形成原因,及其能保留下来的条件,讨论了这种旋涡现象与微晶形核生长过程的联系。 王幼文 许宇庆 丁予上 姚鸿年关键词:微晶 化学汽相沉积 旋涡 晶体生长 无规分形衬底上银薄膜的I-V特性 被引量:5 1994年 在无规分形结构的a氧化铝陶瓷断面上,用射频溅射法镀制了银薄膜,其I-V特性在空气中呈非线性行为,而在原位真空测量中表现为开关形式的电压击穿效应。基于衬底的结构特性,作者对上述现象作了合理的解释。 王劲松 叶高翔 许宇庆 张其瑞关键词:银 伏-安特性 管式纳米级超细微粒制备方法 本发明公开了一种管式纳米级超细微粒制备方法,它首先,将刚玉管式高温反应炉加热,使反应室温度升至1200~1400℃,并恒温0.5~1小时,同时,开启真空抽气系统,将反应室抽至10<Sup>-3</Sup>~10<Sup>... 许宇庆 丁子上文献传递 分形衬底上的金属薄膜及其非线性V-I特性 被引量:5 1993年 自80年代以来,对分形现象的研究取得了很大的进展.这种现象的本质正逐渐被人们所揭示,并已在一些领域中得到了应用。但是由于分形结构的复杂性和对条件的敏感性,使得在实验上实现严格的自相似体系,其难度很大.然而,在物理学和其它研究领域中,更多的还是那些具有无规分形(Random fractal)结构的体系,它们包含着丰富的物理内容和深刻的含意。因此,更有效地研究、制备和应用这些体系的意义十分重要. 叶高翔 许宇庆 王劲松 沙健 陈南松 张其瑞关键词:分形 隧道结 V-I特性 用于永久性存贮器Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3薄膜的特性 被引量:3 1995年 用磁控射频溅射方法制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜。研究了制膜工艺对Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜相、结晶性和铁电特性的影响。实验表明,所制备的薄膜表面致密、光滑。此Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜以钙钛矿结构为主,并具有较高的剩余极化、饱和极化和较小的矫顽场。从实验结果分析得,通过控制工艺条件所制得的单相钙钛矿型的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜的铁电特性得到很大提高。并制备出用于永久性存贮器的优质Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜。 许宇庆 陶向明 叶高翔 葛洪良 张其瑞关键词:铁电 纳米SiC-Si_3N_4复合超细粉末的研制 被引量:12 1994年 用热化学气相反应法制备了纳米级Sic-Si_3N_4复合超细粉末,讨论了工艺参数对复合超细粉末颗粒度、组成、结构等的影响,并制备出颗粒呈球形、颗粒尺寸均匀、分散性好、最小颗粒尺寸为89A的纳米级SiC-Si_3N_4复合超细粉末。 许宇庆 胡国君 丁子上关键词:陶瓷 超细粉 氮化硅 碳化硅 沉积在α-Al_2O_3分形基底上Ag薄膜的特性 1994年 报道了采用磁控溅射法在α-Al_2O_3分形基底上沉积Ag薄膜表面的形貌、结晶状态以及其V-I特性.结果表明:分形的Al_2O_3基底导致Ag薄膜具有起伏不平的结构、较差的结晶状态并且存在大量的孔洞,它们同样受基底温度和薄膜厚度的影响.在一定的厚度范围内,Ag薄膜呈现反常的非线性I(V)特性,其行为也受薄膜厚度、基底温度和测试环境的强烈影响. 许宇庆 叶高翔 王劲松 陶向明 张其瑞关键词:银 磁控溅射 铁电多层膜的制备和特性 1996年 本文首次对铁电多层膜的制备和其特性进行研究。实验结果表明,铁电多层膜中各子层厚度和制膜时工艺条件的改变对其相结构和铁电特性有明显的影响。铁电多层膜由钙钛矿相和焦绿石相所组成。当多层膜中第一、第三层的厚度为0.15μm时,改变第二层的厚度,当其为0.15μm时,多层膜的铁电特性为最好并且膜中钙钛矿相的含量增大。当第一、二、三层的厚度相同时,改变其厚度到0.1μm时,此时多层膜的铁电特性为最好并且钙钛矿相的含量增大。沉积第二层Pb(Zr0.48Ti0.52)O3膜时衬底温度较低时有利于其铁电特性提高,但气体压强对其影响不大。 许宇庆 张其瑞 陶向明 陶向明关键词:多层膜 磁控溅射 铁电材料