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沈丹丹
作品数:
4
被引量:5
H指数:2
供职机构:
南京大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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许伟伟
南京大学电子科学与工程学院超导...
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南京大学电子科学与工程学院超导...
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南京大学电子科学与工程学院超导...
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南京大学电子科学与工程学院超导...
陈健
南京大学电子科学与工程学院超导...
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铝超导隧道结的制备工艺与特性的研究
量子信息科学作为一个新兴的交叉学科,吸引了大量的各个领域的研究者参与。量子计算作为一种新型的计算体系,已经证明了具有超越传统计算机的优越性能。研究表明,有很多的物理系统有希望能够实现简单的量子计算,而约瑟夫森结系统,由于...
沈丹丹
关键词:
超导量子比特
电子束蒸发
文献传递
制备铝超导隧道结的工艺及控制其结性能的研究
沈丹丹
许伟伟
常俊杰
朱冉
梁敏
吉争鸣
陈健
超导量子比特中铝超导隧道结的性能
被引量:2
2011年
超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件.用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al2O3/Al隧道结,用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数.深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度Jc和面积归一化电阻Rc(正常态电阻RN与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的Jc和Rc,以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小,结参数易于控制,满足制备超导量子比特的要求.
沈丹丹
朱冉
许伟伟
常俊杰
吉争鸣
孙国柱
曹春海
陈健
关键词:
隧道结
电子束蒸发
超导量子比特
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