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刘卫东
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西安交通大学电信学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗恩泽
西安交通大学电信学院
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微电子器件
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场发射
机构
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西安交通大学
作者
1篇
刘卫东
1篇
罗恩泽
传媒
1篇
真空电子技术
年份
1篇
1996
共
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阴极材料对真空微电子器件场发射性能的影响
被引量:2
1996年
本文对结构相同的覆四种不同金属层(金、铝、镍、铬)的P型硅楔形体阵列进行了实验比较研究,表明金、铝、镍可望成为低真空和大气压环境下工作的真空微电子器件的阴极材料。
刘卫东
罗恩泽
郑修麟
关键词:
真空微电子器件
场发射
阴极材料
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