程东升
- 作品数：9 被引量：16H指数：3
- 供职机构：河北工业大学更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>
- 利用钼酸铵溶液对TiO2薄膜表面进行修饰以改善其氧敏特性的研究
- 本文介绍了用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜.并进行1100℃,2h的退火处理,使其完全转换成金红石结构.配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间.取出后,在红外烘烤箱中焙干.最后在马弗炉中50...
- 程东升孙以材潘国锋张毅
- 关键词：TIO2薄膜钼酸铵三氧化钼氧敏特性
- 文献传递
- 钼掺杂降低TiO_2氧敏薄膜最佳工作温度研究被引量：3
- 2006年
- 用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜。并进行1 100℃,2 h的退火处理。配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间。取出后,进行500℃,3 h退火处理。用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验测试,发现对氧气有很好的敏感特性,比未经此项工艺处理的TiO2薄膜的最佳工作温度降低100℃,为300℃左右,并进行SEM测试,分析其表面结构,研究气敏机理。
- 程东升孙以材潘国锋袁育杰
- 关键词：TIO2薄膜钼酸铵氧敏特性
- 铝薄膜CMP影响因素分析被引量：3
- 2006年
- 提出了在碱性抛光液中铝薄膜化学机械抛光的机理模型,对抛光液的pH值、磨料、氧化剂浓度对过程参数的影响做了一些试验分析。试验结果表面粗糙度的铝薄膜所需的最优化CMP过程参数:硅溶胶粒径为15～20nm,pH值为10.8～11.2,氧化剂浓度为2.5%～3%。
- 袁育杰刘玉岭张远祥程东升
- 关键词：化学机械抛光
- ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析被引量：3
- 2006年
- 采用直流磁控溅射法进行ZnO薄膜的制备,探讨了O2/Ar对薄膜方块电阻,退火对薄膜结构的影响.在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明:较低的退火温度有利于提高器件气敏特性,其中经600℃退火的ZnO薄膜的灵敏度最高,其最佳工作温度为350℃.实验制备的ZnO薄膜对丙酮、汽油等有机蒸汽都有较高的敏感性和较短的响应-恢复时间,呈现对有机蒸汽敏感的广谱性.
- 潘国峰何平孙以材程东升
- 关键词：反应溅射ZNO薄膜退火温度选择性
- 硅的电阻率温度系数～电阻率关系Si几种拟合方法的比较被引量：2
- 2006年
- 本文以硅单晶的电阻率温度系数～电阻率非线性曲线为应用对象,用直线最小二乘法、牛顿插值法、规范化多项式、MATLAB3次、4次及5次曲线分别进行拟合近似逼近,并得到各自的多项式,用到表和图线以作对比。结论是牛顿插值法、规范化多项式法、MATLAB5次曲线最为逼近。
- 孙以材宫云梅王静程东升张效玮
- 关键词：最小二乘法
- 用于油库安全监测的气体传感器研究与设计被引量：2
- 2006年
- 研究并设计了一种用于油库安全监测的气体传感器。传感器中气体敏感元件是利用直流磁控溅射法制备的Al掺杂ZnO薄膜。此薄膜对汽油等有机蒸汽有较高的敏感性和较短的响应(恢复)时间.当油气浓度较大时(大于1%),输出信号的变化仍较大.本传感器采用MAX197芯片,可以同时采集多个气敏元件的模拟信号并进行12位高精度A/D转换,利用无线收发模块F05C、J04E进行数据的无线传输.传感器拥有ACM12864液晶显示模块,方便数据显示.
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- 关键词：ZNO薄膜液晶显示
- 纳米薄膜乙醇传感器的研制被引量：1
- 2014年
- 在陶瓷管上用Ti O2溅射法研制纳米薄膜乙醇传感器,同时作了机理分析。利用X射线衍射技术分析确定,在利用溅射法制备Ti O2纳米薄膜时,随着退火温度的提高,所形成的Ti O2薄膜晶体结构由无定型结构,向锐钛矿结构转变,随后又随温度升高逐渐转向金红石结构。晶粒大小随着退火温度的升高而增大,分别为13nm(500℃)、16nm(700℃)、28nm(1100℃)。经500℃退火的样品为锐钛矿晶体结构,晶粒尺寸为13nm,其乙醇灵敏度特性最好。此时元件的最佳加热工作电压8.0V,对应的工作温度为370℃。利用红外光谱测定,反应的生成物中有H2O、CH3CHO、C2H4,分别对应1694cm-1、1756cm-1和1720cm-1的红外吸收峰。但在反应生成物中,没有发现有乙酸产生。
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- 关键词：溅射法红外光谱
- ULSI多层铜布线镶嵌工艺的研究
- 本文介绍了铜作为互连金属的优点、面临的困难及解决方案,讨论了阻挡层材料和低介电常数材料的的作用及选取原则,介绍了制备铜互连线的镶嵌工艺,指出其亟待解决的技术和理论问题并对其发展方向进行了展望.
- 袁育杰刘玉岭肇之雯程东升
- 关键词：ULSI铜互连线扩散阻挡层镶嵌工艺
- 文献传递
- 一种新型矿井瓦斯传感器的研究与设计被引量：3
- 2006年
- 研究并设计了一种用于矿井瓦斯气体安全监测的气体传感器。传感器中气体敏感元件是利用溶胶-凝胶法在陶瓷管外表面制备的Fe3+搀杂SnO2薄膜。此薄膜对甲烷等易燃易爆气体有较高的敏感性和较短的响应(恢复)时间。该传感器采用MAX-197芯片,可以同时采集多个气敏元件的模拟信号并进行12位高精度A/D转换。传感器利用数码管进行显示,并连接危险报警器,能够及时准确地监测矿井的气氛环境并对瓦斯爆炸等潜在危险进行预警,以保证矿井的安全。
- 程东升孙以材潘国锋袁育杰
- 关键词：溶胶-凝胶法SNO2薄膜瓦斯数码显示
