牛坚
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：河南大学更多>>
- 发文基金：河南省高校杰出科研人才创新工程基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学电子电信机械工程更多>>
- 磁过滤阴极弧法TiN薄膜的制备及其微观机械性能研究被引量：2
- 2007年
- 采用“S”型磁过滤阴极弧等离子体沉积技术,室温下在(111)面单晶硅上沉积氮化钛薄膜。采用AFM和XRD技术分别对薄膜的表面形貌和晶体择优取向进行了表征,并用微刻划的方法分析薄膜的微观机械性能。结果表明,薄膜表面光滑致密,随偏压的增大,表面颗粒粒径先增大后减小,并且从(111)面的择优取向转变成(220)面。在刻划实验中,随载荷增加,薄膜先后经历了完全弹性变形,弹-塑性变形和脆性断裂阶段。利用直接和间接2种方法对得到的薄膜的临界载荷进行分析对比,发现在不同负偏压下,薄膜的内应力和临界载荷不同。随着负偏压的增大,薄膜的内应力逐渐增大,临界载荷逐渐减小。在-100V偏压下制备的氮化钛薄膜的微观机械性能最为理想。
- 王智牛坚张玉娟吴志申
- 关键词：氮化钛
- 结合磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备高质量半导体薄膜的研究
- 本论文主要由两部分组成。
第一部分主要是试验设备的建立，在这一部分中，首先介绍了等离子体的概念及其应用，通过对实验设备的改进，例如改变引弧针材料，加入宏观离子挡板等，使其较之普通的等离子沉积设备有了一些突出的优...
- 牛坚
- 关键词：类金刚石氧化锌半导体薄膜发光性能
- 文献传递
- 自组装技术制备稀土Y润滑薄膜的研究
- 2007年
- 结合自组装技术在羟基化处理的Si表面成功制备了稀土Y薄膜。利用SEM,AFM,XPS对其结构和形貌进行表征,在UMT-2摩擦磨损试验机上考察了稀土Y薄膜的摩擦磨损性能,并探讨了该薄膜的摩擦润滑机制。结果表明,利用该方法制备的稀土薄膜致密、均匀,由排布紧凑的小颗粒组成,具有良好的减摩耐磨特性。
- 牛坚张晓峰叶滨杜祖亮张平余
- 关键词：自组装
