公共文化服务平台

共 2 条记录，以下是 1-2

全选清除导出

排序方式：

低气压双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱实验研究: 本文采用相分辨发射光谱法对低气压双频容性耦合氩气、氧气和氩-氧混合气放电等离子体进行了时间空间分辨实验研究，并讨论了不同放电条件对等离子体激发速率的时空分布的影响。主要得到以下结果:　　在纯氩和氩气-氧气混合气体放电的功...; 杜永权; 关键词：等离子体鞘层; 文献传递

双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断: 2013年; 采用相分辨发射光谱法,对双频容性耦合纯Ar和不同含O2量的Ar-O2混合气体放电等离子体的鞘层激发模式进行了探究.放电腔室耦合电源电极的鞘层区域处观察到两种电子激发模式:鞘层扩张引起的电子碰撞激发模式和二次电子引起的电子碰撞激发模式;并发现这两种激发模式均受到低频射频电源周期的调制.在纯Ar放电等离子体中,两种激发模式的激发轮廓相似;而在Ar-O2混合气放电等离子体中,随着含O2量的增加,二次电子的激发轮廓变弱.此外,利用相分辨发射光谱法对不同含O2量的Ar-O2混合气放电下Ar的750.4 nm谱线在低频周期内的平均光强随轴向分布进行了研究,得到了距耦合电源电极约3.8 mm处为双频容性耦合射频等离子体的鞘层边界.; 杜永权刘文耀朱爱民李小松赵天亮刘永新高飞徐勇王友年; 关键词：等离子体鞘层发射光谱

全选清除导出

共1页<1>

杜永权